1. tèmik CVD teknoloji
Kouch difisil yo se sitou metal kouch seramik (TiN, elatriye), ki te fòme pa reyaksyon an nan metal nan kouch la ak gazeifikasyon reyaktif.Okòmansman, yo te itilize teknoloji tèmik CVD pou bay enèji deklanchman reyaksyon konbinezon pa enèji tèmik nan yon tanperati ki wo nan 1000 ℃.Tanperati sa a se sèlman apwopriye pou depoze TiN ak lòt kouch difisil sou zouti carbure simante.Jiskaprezan, li toujou yon teknoloji enpòtan pou depoze TiN-Al20 kouch konpoze sou tèt zouti carbure simante.
2. Hollow katod ion kouch ak cho fil arc ion kouch
Nan ane 1980 yo, yo te itilize kouch iyon katod kre ak kouch ion cho fil pou depoze zouti koupe kouvwi.Tou de teknoloji kouch ion sa yo se teknoloji kouch iyon arc, ak yon pousantaj ionizasyon metal ki rive jiska 20% ~ 40%.
3. Katod arc ion kouch
Aparisyon katodik arc ion kouch te mennen nan devlopman nan teknoloji a nan depoze kouch difisil sou mwazi.Pousantaj ionizasyon katodik arc ion kouch se 60% ~ 90%, sa ki pèmèt yon gwo kantite iyon metal ak iyon gaz reyaksyon yo rive jwenn sifas la nan materyo a epi li toujou kenbe aktivite segondè, sa ki lakòz depozisyon reyaksyon ak fòmasyon nan kouch difisil tankou TiN.Kounye a, teknoloji kouch katodik arc ion pwensipalman itilize pou depoze kouch difisil sou mwazi.
Sous arc katòd la se yon sous evaporasyon solid-eta san yon pisin fonn fiks, epi pozisyon sous arc a ka abitrèman mete, amelyore pousantaj itilizasyon espas nan chanm nan kouch ak ogmante kapasite chaj founo a.Fòm sous arc katod yo enkli ti sous arc katod sikilè, sous arc kolòn, ak sous arc rektangilè plat.Diferan konpozan sous ti arc, sous arc kolon, ak sous arc gwo ka ranje separeman pou depoze fim milti-kouch ak fim nano multi-kouch.Pandan se tan, akòz to a ionizasyon metal segondè nan kouch katodik ak iyon, iyon metal ka absòbe plis gaz reyaksyon, sa ki lakòz yon seri pwosesis lajè ak operasyon senp pou jwenn ekselan kouch difisil.Sepandan, gen ti gout koryas nan mikrostruktur kouch kouch ki te jwenn nan kouch katodik iyon arc.Nan dènye ane yo, anpil nouvo teknoloji te parèt pou rafine estrikti kouch fim nan, ki te amelyore kalite fim nan kouch arc ion.
——Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, amanifakti nan machin kouch optik.
Tan pòs: Apr-28-2023