Pwosesis la nan kre kouch ion katod se jan sa a:
1、Mete lengote Chin nan efondreman an.
2、Monte pyès travay la.
3 、 Apre yo fin evakye nan 5 × 10-3Pa, gaz Agon yo prezante nan chanm nan kouch soti nan tib an ajan, ak nivo a vakyòm se alantou 100Pa.
4 、 Vire sou pouvwa a patipri.
5 、 Apre ou fin limen pouvwa a arc pou limen egzeyat la katod kre. Se egzeyat la lumineux pwodwi nan tib bouton an, vòltaj la egzeyat se 800 ~ 1000V, aktyèl la arc-ogmante se 30 ~ 50A. Akòz efè a katod kre nan lumineux egzeyat,Dansite aktyèl egzeyat segondè ekla,Dansite segondè nan iyon rat nan tib an ajan bonbade miray la nan tib la vantage,Fè miray la tib rapidman chofe jiska emisyon an nan koule elèktron, mòd nan egzeyat soti nan egzeyat la lumineux toudenkou chanjman nan egzeyat arc, Voltage se 40 ~ 70V, Kouran se 80 ~ 300A. Tanperati tib Silver rive pi wo a 2300K, Enkandesan, Emèt yon kouran dansite segondè nan elektwon arc soti nan tib la, ak tire nan anod la.
6、Ajisteman nan nivo vakyòm.Nivo vakyòm pou egzeyat lumineux soti nan zam katod kre se apeprè 100 Pa, Ak degre nan vakyòm nan kouch se 8 × 10-1 ~ 2Pa.Se poutèt sa, Apre ignisyon nan egzeyat la arc, Diminye agon ki fèk ap rantre. gaz pi vit ke posib,Ajiste nivo vakyòm nan yon seri apwopriye pou kouch.
7 、 Titàn plake baz layer.Electron koule sou anodically tonbe Chin ingot an metal, Konvèsyon nan enèji sinetik nan enèji tèmik, Evaporasyon nan Chin metal pa chofaj, Vapè atòm rive nan materyo a yo fòme yon fim Titàn.
8 、 Depozisyon TiN.Azòt gaz apwovizyone nan chanm lan kouch, gaz Azòt ak atòm evapore yo ionize nan iyon nitwojèn ak Titàn. Anwo kreze a, pi wo pwobabilite pou kolizyon inelastik nan atòm vapè Titàn ak kouran dans elektwon ba-enèji, Pousantaj disosyasyon metal la se 20% ~ 40%.,Iyon Titàn gen plis chans reyaji chimikman ak nitwojèn gaz reyaksyon an,Depozisyon pou jwenn yon kouch fim manto nitrure.Zam katod kre se tou de yon sous vaporizasyon，Yon lòt sous. nan ionizasyon.Pandan kouch, Kouran an nan bobin elektwomayetik alantou creuze a ta dwe tou ajiste, Konsantre gwo bout bwa a elèktron nan sant la nan efondreman an, Kidonk, dansite pouvwa a nan koule elèktron ogmante.
9、Power Off.After epesè fim nan rive nan epesè fim nan Predetermined, Etenn ekipman pou pouvwa arc, ekipman pou pouvwa patipri ak ekipman pou lè.
Lè poste: 08-Jul-2023