Pwosesis la nan Ti Arc Sous Ion kouch

Pwosesis la nan katodik arc sous iyon kouch se fondamantalman menm jan ak lòt teknoloji kouch, ak kèk operasyon tankou enstale materyo ak vakyòm yo pa repete ankò.

1.Bombardment netwayaj nan materyo

Anvan kouch, gaz Agon prezante nan chanm nan kouch ak yon vakyòm nan 2 × 10-2Pa.

Limen ekipman pou pouvwa patipri batman kè a, ak yon sik devwa nan 20% ak yon patipri pyès materyo nan 800-1000V.

Lè pouvwa arc la vire sou, se yon egzeyat limyè arc frèt jaden ki pwodui, ki emèt yon gwo kantite kouran elèktron ak kouran iyon Titàn soti nan sous la arc, fòme yon plasma ki wo dansite.Iyon an Titàn akselere piki li nan materyo-a anba presyon negatif segondè patipri aplike nan materyo-a, bonbade ak sputtering gaz rezidyèl la ak polyan adsorbed sou sifas la nan materyo-a, epi netwaye ak pirifye sifas la nan materyo-a;An menm tan an, gaz klò nan chanm kouch la ionize pa elektwon, ak iyon agon akselere bonbadman sifas materyo a.

Se poutèt sa, efè netwayaj bonbadman an bon.Se sèlman apeprè 1 minit nan netwayaj bonbadman ka netwaye materyo a, ki rele "bonbadman prensipal arc".Akòz gwo mas nan iyon Titàn, si yo itilize yon ti sous arc pou bonbade ak netwaye materyo a pou twò lontan, tanperati a nan materyo a se tendans surchof, ak kwen zouti a ka vin mou.An jeneral pwodiksyon, ti sous arc yo vire sou youn pa youn depi anwo jouk anba, epi chak ti sous arc gen yon tan netwayaj bonbadman apeprè 1 minit.

（1） Kouch anba Titàn

Yo nan lòd yo amelyore Adhesion ki genyen ant fim nan ak substra, se yon kouch pi bon kalite substra Titàn anjeneral kouvwi anvan kouch nitrure Titàn.Ajiste nivo vakyòm nan 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, ajiste vòltaj patipri materyo a nan 400-500V, epi ajiste sik devwa nan ekipman pou pouvwa a patipri batman kè a 40% ~ 50%.Toujou limen ti sous arc youn pa youn pou jenere egzeyat arcing jaden frèt.Akòz diminisyon nan vòltaj patipri negatif nan materyo-a, enèji nan iyon Titàn diminye.Apre yo rive nan materyo-a, efè a sputtering se mwens pase efè a depo, epi yo fòme yon kouch tranzisyon Titàn sou materyo-a pou amelyore fòs la lyezon ant kouch fim difisil nitrure Titàn ak substra a.Pwosesis sa a se tou pwosesis pou chofe pyès la.Lè sib la pi bon kalite Titàn egzeyate, limyè a nan plasma a se ble ble.

1.Ammoniated bòl fim difisil kouch

Ajiste degre vakyòm nan 3 × 10^-1-5Pa, ajiste vòltaj patipri pyès travay la a 100-200V, epi ajiste sik devwa ekipman pou pouvwa patipri batman kè a nan 70% ~ 80%.Apre yo fin prezante nitwojèn, Titàn se reyaksyon konbinezon ak plasma egzeyat arc pou depoze fim difisil nitrure Titàn.Nan pwen sa a, limyè plasma a nan chanm vakyòm lan se wouj Cherry.Si C₂H₂, O₂, elatriye yo prezante, TiCN, TiO₂, elatriye kouch fim ka jwenn.

–Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua, amanifakti machin vakyòm kouch