Ki sa ki faktè ki afekte anpwazònman sib nan magnetron sputtering?

1, Fòmasyon konpoze metal sou sifas sib la
Ki kote konpoze an fòme nan pwosesis pou fòme yon konpoze soti nan yon sifas metal sib pa yon pwosesis sputtering reyaktif?Depi reyaksyon chimik ant patikil gaz reyaktif yo ak atòm sifas sib yo pwodui atòm konpoze, ki anjeneral ègzotèmik, chalè reyaksyon an dwe gen yon fason pou fè soti, otreman reyaksyon chimik la pa ka kontinye.Anba kondisyon vakyòm, transfè chalè ant gaz yo pa posib, kidonk reyaksyon chimik la dwe pran plas sou yon sifas solid.Sputtering reyaksyon jenere konpoze sou sifas sib, sifas substra, ak lòt sifas estriktirèl.Jenere konpoze sou sifas substra a se objektif la, jenere konpoze sou lòt sifas estriktirèl se yon fatra nan resous, ak jenere konpoze sou sifas sib la kòmanse kòm yon sous atòm konpoze epi li vin yon baryè kontinyèlman bay plis atòm konpoze.

2, Faktè enpak yo nan anpwazònman sib
Faktè prensipal ki afekte anpwazònman sib la se rapò gaz reyaksyon ak gaz sputtering, twòp gaz reyaksyon ap mennen nan anpwazònman sib.Pwosesis sputtering reyaktif te pote soti nan zòn nan chanèl sputtering sifas sib parèt yo dwe kouvri pa konpoze an reyaksyon oswa konpoze an reyaksyon se dezabiye ak re-ekspoze sifas metal.Si to jenerasyon konpoze an pi gran pase to dezabiye konpoze, zòn pwoteksyon konpoze an ogmante.Nan yon sèten pouvwa, kantite gaz reyaksyon ki enplike nan jenerasyon konpoze ogmante ak pousantaj jenerasyon konpoze ogmante.Si kantite gaz reyaksyon ogmante twòp, zòn pwoteksyon konpoze an ogmante.Men, si pousantaj koule gaz reyaksyon an pa ka ajiste nan tan, pousantaj ogmantasyon nan zòn pwoteksyon konpoze pa siprime, epi chanèl sputtering la pral plis kouvri pa konpoze an, lè sib la sputtering konplètman kouvri pa konpoze an, sib la se konplètman anpwazonnen.

3, fenomèn anpwazònman sib
(1) akimilasyon ion pozitif: lè anpwazònman sib la, yo pral fòme yon kouch fim posibilite sou sifas sib la, iyon pozitif rive nan sifas sib katod la akòz blokaj kouch izolasyon an.Pa antre dirèkteman nan sifas sib katod la, men akimile sou sifas sib la, fasil yo pwodwi jaden frèt nan arc egzeyat - arcing, se konsa ke sputtering nan katod pa ka kontinye.
(2) disparisyon anod: lè anpwazonnman ak gaz sib, miray chanm vakyòm ki chita tou depoze isolation fim, rive nan elektwon anod yo pa ka antre anod la, fòmasyon nan fenomèn disparisyon anod.

4, Eksplikasyon fizik sou anpwazònman sib
(1) An jeneral, koyefisyan emisyon elèktron segondè nan konpoze metal yo pi wo pase sa yo ki nan metal yo.Apre anpwazònman sib, sifas sib la se tout konpoze metal, epi apre yo te bonbade pa iyon, kantite elektwon segondè lage ogmante, ki amelyore konduktiviti nan espas ak diminye enpedans plasma a, ki mennen nan yon pi ba vòltaj sputtering.Sa a diminye to a sputtering.Anjeneral vòltaj sputtering nan magnetron sputtering se ant 400V-600V, epi lè anpwazònman sib rive, vòltaj la sputtering siyifikativman redwi.
(2) Sib metal ak sib konpoze orijinal pousantaj sputtering diferan, an jeneral koyefisyan sputtering metal la pi wo pase koyefisyan sputtering konpoze an, kidonk pousantaj sputtering la ba apre anpwazònman sib.
(3) Efikasite sputtering gaz reyaktif sputtering orijinèlman pi ba pase efikasite sputtering gaz inaktif, kidonk pousantaj sputtering konplè a diminye apre pwopòsyon gaz reyaktif ogmante.

5, Solisyon pou anpwazònman sib
(1) Adopte ekipman pou pouvwa frekans mwayen oswa ekipman pou pouvwa radyo frekans.
(2) Adopte kontwòl bouk fèmen nan koule gaz reyaksyon an.
(3) Adopte sib jimo
(4) Kontwole chanjman nan mòd kouch: Anvan kouch, koub efè hystérésis nan anpwazònman sib la kolekte pou ke koule lè a inlet kontwole nan devan an nan pwodwi anpwazònman sib asire ke pwosesis la toujou nan mòd la anvan depo a. to desann byen fò.

-Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua Teknoloji, yon manifakti nan ekipman kouch vakyòm.