Laekipman kouch vakyòmse konpoze de anpil pati egzak, ki fè yo atravè anpil pwosesis, tankou soude, fanm k'ap pile, vire, rabotaj, raz, fraisage ak sou sa.Akòz travay sa yo, sifas pati ekipman yo pral inevitableman kontamine ak kèk polyan tankou grès, pousyè tè lwil oliv, bato metal, flux soude, keratin polisaj, mak swe ak sou sa.Polyan sa yo fasil pou volatilize anba kondisyon vakyòm, kidonk afekte vakyòm final la nan ekipman an.
Anplis de sa, polyan vakyòm sa yo ki soti nan pwosesis mekanik absòbe yon gwo kantite gaz nan anviwònman an presyon atmosferik, ak nan eta a vakyòm, gaz sa yo deja adsorbed yo pral lage ankò, vin tounen yon gwo faktè limite vakyòm nan limit.Pou rezon sa a, polyan yo dwe retire anvan pati pyès sa yo nan machin nan kouch vakyòm yo reyini.
Pandan itilizasyon ekipman vakyòm, eleman li yo pral kontamine tou.Sepandan, polisyon nan sous sa a se sitou ki te koze pa kondisyon yo itilize ak ponp vakyòm.
1. Evaporasyon filaman an nan kalib la vakyòm nan kondisyon tanperati ki wo ap mennen nan fòmasyon nan yon fim sou izolasyon seramik la, ki pral domaje fòs izolasyon li yo nan yon sèten limit, epi tou li gen yon sèten enpak sou presizyon nan li yo. mezi;
2. Akòz evaporasyon tanperati ki wo, yo pral fòme yon fim metal sou sifas la toupre filaman zam elèktron nan vakyòm;
3. Akòz sputtering pyès travay, miray enteryè a nan ekipman grave ion travès yo pral kontamine pa pwojeksyon;
4. Miray enteryè a nan ekipman vakyòm kouch evaporasyon an pral kontamine pa materyèl sib evaporasyon li yo;
5. Sistèm siye vakyòm souvan itilize, epi sistèm nan pral kontamine ak sibstans ki evapore;
6. Lwil oliv ponp difizyon ak lwil oliv ponp mekanik nan ekipman kouch vakyòm yo tou se yon gwo sous polisyon.Apre machin nan kouch te travay pou yon tan long, yon fim lwil oliv ka fòme andedan ekipman an.
Pou rezime, sanitasyon vakyòm nan ekipman enplike ekipman vakyòm, sistèm vakyòm, pwodiksyon pwosesis vakyòm ak lòt aspè ak lyen, osi byen ke kondisyon ki nan ekipman an vakyòm kouch tèt li ak pwosesis vakyòm espesyal sou kondisyon yo itilize.Se poutèt sa, polisyon vakyòm se yon pwoblèm ki merite atansyon, paske polisyon sa yo pral afekte pèfòmans ekipman an, epi yo ta dwe peye atansyon sou netwayaj regilye oswa nenpòt ki lè.
Lè poste: 21 fevriye 2023