Lakouch vakyòmse pwosesis machin divize an: vakyòm evaporasyon kouch, vakyòm sputtering kouch ak vakyòm ion kouch.
1, Vacuum kouch evaporasyon
Anba kondisyon an vakyòm, fè materyèl la evapore, tankou metal la, alyaj metal, elatriye Lè sa a, depoze yo sou sifas la substra, metòd la kouch evaporasyon souvan itilize chofaj rezistans, ak Lè sa a, bonbadman gwo bout bwa elèktron nan materyèl la kouch, fè yo evapore nan faz gaz, Lè sa a, depoze sou sifas la substra, istorikman, depo vakyòm vakyòm se teknoloji a pi bonè yo itilize nan metòd PVD.
2 、 Sputtering kouch
Gaz la sibi yon egzeyat lumineux anba (Ar)-plen kondisyon vakyòm. Nan moman sa a atòm agon (Ar) ion nan iyon nitwojèn (Ar), iyon yo akselere pa fòs la nan jaden elektrik la, ak bonbade sib la katod ki se te fè nan materyèl la kouch, sib la pral sputtered deyò epi depoze sou sifas la substra Iyon ensidan nan kouch sputter, jeneralman jwenn pa egzeyat lumineux, yo nan seri a nan 10-2pa a 10Pa, Se konsa, patikil yo sputtered yo fasil fè kolizyon. ak molekil gaz yo nan chanm nan vakyòm lè vole nan direksyon pou substra a, fè direksyon an mouvman o aza ak fim nan depoze fasil yo dwe inifòm.
3 、 Ion kouch
Anba kondisyon yo vakyòm, Anba kondisyon vakyòm, Itilize yon sèten teknik iyonizasyon plasma pou pasyèlman ionize atòm materyèl kouch yo nan iyon.An menm tan an anpil gwo enèji net atòm yo pwodui, ki gen patipri negatif sou substra a. Nan fason sa a, iyon. yo depoze sou sifas substra a anba yon gwo patipri negatif yo fòme yon fim mens.
Tan pòs: Mar-23-2023