Ki prensip k ap travay nan machin Ion Plating

Ion kouchmachin soti nan teyori a te pwopoze pa DM Mattox nan ane 1960 yo, ak eksperyans korespondan yo te kòmanse nan tan sa a;Jiska 1971, Chambers ak lòt moun pibliye teknoloji elèktron gwo iyon plating;Teknoloji reyaktif evaporasyon plating (ARE) te fè remake nan rapò Bunshah an 1972, lè yo te pwodwi kalite fim super-difisil tankou TiC ak TiN;Epitou an 1972, Smith ak Molley te adopte teknoloji katod kre nan pwosesis kouch la.Nan ane 1980 yo, ion plating nan Lachin te finalman rive nan nivo aplikasyon endistriyèl, ak pwosesis yo kouch tankou vakyòm milti-arc ion plating ak arc-egzeyat ion plating te parèt youn apre lòt.

Tout pwosesis k ap travay nan vakyòm ion plating se jan sa a: premye,ponpchanm nan vakyòm, ak Lè sa atannpresyon vakyòm nan 4X10 ⁻ ³ Paoswa pi bon, li nesesè konekte ekipman pou pouvwa vòltaj segondè a epi bati yon zòn plasma tanperati ki ba nan gaz egzeyat vòltaj ki ba ant substra a ak evaporateur la.Konekte elektwòd substra a ak 5000V DC vòltaj segondè negatif yo fòme yon egzeyat lumineux nan katod la.Iyon gaz inaktif yo pwodwi tou pre zòn nan lumineux negatif.Yo antre nan zòn nan fè nwa katod epi yo akselere pa jaden elektrik la ak bonbade sifas la nan substra a.Sa a se yon pwosesis netwayaj, ak Lè sa a, antre nan pwosesis la kouch.Atravè efè chofaj bonbadman, kèk materyèl plating yo vaporize.Zòn nan plasma antre nan pwoton yo, fè kolizyon ak elektwon ak iyon gaz inaktif, ak yon ti pati nan yo ionize, Iyon iyonize sa yo ak enèji segondè pral bonbade sifas fim nan ak amelyore kalite fim nan nan yon sèten mezi.

Prensip la nan vakyòm ion plating se: nan chanm nan vakyòm, lè l sèvi avèk fenomèn nan egzeyat gaz oswa pati nan iyonize nan materyèl la vaporize, anba bonbadman an nan iyon yo materyèl vaporize oswa iyon gaz, ansanm depoze sibstans sa yo vaporize oswa reyaktif yo sou substra a. pou jwenn yon fim mens.Kouch iyon anmachinkonbine evaporasyon vakyòm, teknoloji plasma ak egzeyat lumineux gaz, ki pa sèlman amelyore kalite fim nan, men tou, elaji seri aplikasyon fim nan.Avantaj ki genyen nan pwosesis sa a se difraksyon fò, bon adezyon fim, ak divès kalite materyèl kouch.Prensip la nan ion plating te premye pwopoze pa DM Mattox.Gen plizyè kalite ion plating.Kalite ki pi komen se chofaj evaporasyon, ki gen ladan chofaj rezistans, chofaj elèktron gwo bout bwa, chofaj plasma elèktron gwo bout bwa, chofaj segondè-frekans endiksyon ak lòt metòd chofaj.