Teknoloji depozisyon asistans travès Iyon

An reyalite, teknoloji depozisyon asistans Ion gwo bout bwa se yon teknoloji konpoze.Li se yon teknik tretman iyon sifas konpoze ki konbine enplantasyon ion ak teknoloji fim depo vapè fizik, ak yon nouvo kalite teknik optimize sifas iyon.Anplis de sa nan avantaj ki genyen nan depozisyon fizik vapè, teknik sa a ka kontinyèlman grandi nenpòt fim epesè anba kondisyon kontwòl pi sevè, amelyore kristalinite a ak oryantasyon nan kouch fim nan pi siyifikativman, ogmante fòs la Adhesion nan kouch fim nan / substrat, amelyore dansite a. nan kouch fim nan, ak sentèz fim konpoze ak rapò esteyyometrik ideyal nan tanperati chanm tou pre, ki gen ladan nouvo kalite fim ki pa ka jwenn nan tanperati chanm ak presyon.Iyon gwo bout bwa asistans depozisyon pa sèlman kenbe avantaj ki genyen nan pwosesis la implantation ion, men li ka kouvri tou substra a ak yon fim konplètman diferan de substra a.
Nan tout kalite depo vapè fizik ak depo vapè chimik, yo ka ajoute yon seri zam iyon bonbadman oksilyè pou fòme yon sistèm IBAD, e gen de pwosesis jeneral IBAD jan sa a, jan yo montre nan Pic la:

Jan yo montre nan Pic (a), yo itilize yon sous evaporasyon reyon elèktron pou iradyasyon kouch fim nan ak reyon ion ki emèt nan zam iyon an, konsa reyalize depozisyon asistans reyon ion.Avantaj la se ke enèji gwo bout bwa a ion ak direksyon ka ajiste, men se sèlman yon alyaj sèl oswa limite, oswa konpoze ka itilize kòm sous la evaporasyon, ak chak presyon vapè nan eleman nan alyaj ak konpoze diferan, sa ki fè li difisil. jwenn kouch fim nan konpozisyon sous evaporasyon orijinal la.
Pic (b) montre depozisyon an sputtering sputtering-asistans, ki se tou ke yo rekonèt kòm doub ion sputtering depo, nan ki sib la te fè nan materyèl kouch ion sputtering, pwodwi yo sputtering yo itilize kòm sous la.Pandan y ap depoze li sou substra a, depo asistans pou depo iyon gwo bout bwa a reyalize pa iradyasyon ak yon lòt sous ion.Avantaj nan metòd sa a se ke patikil yo sputtered tèt yo gen yon sèten enèji, kidonk gen pi bon adezyon ak substra a;nenpòt eleman nan sib la ka sputtered kouch, men tou, ka reyaksyon sputtering nan fim nan, fasil ajiste konpozisyon fim nan, men efikasite depo li yo ba, sib la se chè epi gen pwoblèm tankou sputtering selektif.