Karakteristik prensipal la nan metòd la evaporasyon vakyòm pou depoze fim se to a depo segondè.Karakteristik prensipal la nan metòd la sputtering se pakèt materyèl fim ki disponib ak bon inifòmite nan kouch fim nan, men pousantaj depo a ba.Ion kouch se yon metòd ki konbine de pwosesis sa yo.
Prensip Iyon kouch ak kondisyon fòmasyon fim
Prensip k ap travay nan kouch ion yo montre nan Pic la.Chanm vakyòm lan ponpe nan yon presyon ki anba a 10-4 Pa, ak Lè sa a, ranpli ak gaz inaktif (egzanp agon) nan yon presyon nan 0.1 ~ 1 Pa. Apre yo fin aplike yon vòltaj DC negatif ki rive jiska 5 kV sou substra a, yon se ba presyon gaz limyè egzeyat plasma zòn etabli ant substra a ak kreze la.Iyon gaz inaktif yo akselere pa jaden elektrik la ak bonbard sifas la nan substra a, konsa netwaye sifas la nan materyo-a.Apre pwosesis netwayaj sa a fini, pwosesis kouch la kòmanse ak vaporizasyon materyèl yo dwe kouvwi nan creuze a.Patikil vapè vapè yo antre nan zòn plasma a epi yo fè kolizyon ak iyon pozitif inaktif disosye ak elektwon yo, ak kèk nan patikil vapè yo disoye ak bonbade materyo a ak sifas kouch anba akselerasyon jaden elektrik la.Nan pwosesis la ion plating, pa gen sèlman depozisyon, men tou sputtering nan iyon pozitif sou substra a, se konsa fim nan mens ka fòme sèlman lè efè a depo pi gran pase efè a sputtering.
Pwosesis la kouch ion, nan ki substra a toujou bonbade ak iyon wo-enèji, se trè pwòp e li gen yon kantite avantaj konpare ak sputtering ak kouch evaporasyon.
(1) Adhesion fò, kouch kouch pa dekale fasil.
(a) Nan pwosesis kouch iyon an, yo itilize yon gwo kantite patikil ki gen gwo enèji ki te pwodwi pa egzeyat lumineux pou pwodwi yon efè katodik sputtering sou sifas substra a, sputtering ak netwaye gaz la ak lwil oliv adsorbed sou sifas la. substra pou pirifye sifas substra a jiskaske pwosesis kouch antye fini.
(b) Nan etap la byen bonè nan kouch, sputtering ak depo coexist, ki ka fòme yon kouch tranzisyon nan konpozan nan koòdone nan baz la fim oswa yon melanj de materyèl la fim ak materyèl la baz, yo rele "kouch pseud-difizyon", ki ka efektivman amelyore pèfòmans adezyon fim nan.
(2)Bon pwopriyete wrap-around.Youn nan rezon se ke atòm materyèl kouch yo ionize anba presyon ki wo epi fè kolizyon ak molekil gaz plizyè fwa pandan pwosesis pou rive nan substra a, se konsa ke iyon yo materyèl kouch ka gaye nan substra a.Anplis de sa, atòm yo materyèl kouch ionize yo depoze sou sifas la nan substra a anba aksyon an nan jaden elektrik, se konsa substra a antye depoze ak yon fim mens, men kouch evaporasyon pa ka reyalize efè sa a.
(3) Bon jan kalite a segondè nan kouch la se akòz sputtering nan kondansasyon ki te koze pa bonbadman an konstan nan fim nan depoze ak iyon pozitif, ki amelyore dansite nan kouch nan kouch.
(4) Yon seleksyon lajè materyèl kouch ak substrats ka kouvwi sou materyèl metalik oswa ki pa metalik.
(5) Konpare ak depo chimik vapè (CVD), li gen yon tanperati substrate ki pi ba, anjeneral pi ba pase 500 ° C, men fòs adezyon li konplètman konparab ak fim depo chimik vapè.
(6) Segondè pousantaj depo, fòmasyon vit fim, epi yo ka kouvri epesè fim soti nan plizyè dizèn nanomèt ak mikron.
Dezavantaj yo nan kouch ion yo se: epesè nan fim nan pa ka jisteman kontwole;konsantrasyon nan domaj yo wo lè yo mande yon kouch amann;ak gaz yo pral antre nan sifas la pandan kouch, ki pral chanje pwopriyete sifas yo.Nan kèk ka, kavite ak nwayo (mwens pase 1 nm) yo fòme tou.
Kòm pou pousantaj depo, kouch ion konparab ak metòd evaporasyon an.Kòm pou bon jan kalite fim, fim yo ki te pwodwi pa kouch ion yo pre oswa pi bon pase sa yo prepare pa sputtering.
Tan poste: Nov-08-2022