Ekipman kouch konpoze nan magnetron sputtering ak katodik milti-ark iyon kouch ka travay separeman ak ansanm;ka depoze ak prepare fim metal pi bon kalite, fim konpoze metal oswa fim konpoze;kapab yon sèl kouch fim ak yon fim konpoze milti-kouch.
Avantaj li yo jan sa a:
Li pa sèlman konbine avantaj ki genyen nan divès kouch ion ak pran an kont preparasyon an ak depo nan fim mens pou divès domèn aplikasyon, men tou, pèmèt depo a ak preparasyon nan fim monolitik milti-kouch oswa fim konpoze milti-kouch nan menm vakyòm. chanm kouch nan yon sèl fwa.
Aplikasyon yo nan kouch fim depoze yo lajman itilize teknoloji li yo nan yon varyete fòm, sa yo tipik jan sa a:
(1) Konpoze nan sputtering magnetron ki pa ekilib ak teknoloji katodik ion plating.
Aparèy li yo montre jan sa a.Li se yon ekipman kouch konpoze nan sib kolòn magnetron ak planar kathodik arc ion kouch, ki se apwopriye pou tou de zouti kouch fim konpoze ak kouch fim dekoratif.Pou kouch zouti, yo itilize kouch katodik ak iyon an premye pou kouch baz kouch, ak Lè sa a, sib la magnetron kolòn yo itilize pou depo nitrure ak lòt kouch fim pou jwenn yon fim sifas zouti pwosesis segondè-presizyon.
Pou kouch dekoratif, fim dekoratif TiN ak ZrN ka depoze pa kouch arc katodik an premye, ak Lè sa a, dope ak metal lè l sèvi avèk sib magnetron, ak efè a dopan se trè bon.
(2) Konpoze nan magnetron avyon jimo ak teknik kouch iyon katòd kolòn.Aparèy la montre jan sa a.Li se itilize teknoloji avanse jimo sib la, lè de kòt a kòt sib jimo lye ak ekipman pou pouvwa frekans mwayen, li pa sèlman genyen batay la anpwazònman sib nan DC sputtering, dife ak lòt dezavantaj;epi yo ka depoze Al203, SiO2 oksid bon jan kalite fim, se konsa ke rezistans nan oksidasyon nan pati yo kouvwi yo te ogmante ak amelyore.Kolòn milti-ark sib enstale nan sant la nan chanm lan vakyòm, materyèl la sib ka itilize Ti ak Zr, pa sèlman kenbe avantaj ki genyen nan gwo milti-ark to disosyasyon, pousantaj depo, men tou, ka efektivman redwi "ti gout" nan pwosesis la nan ti avyon depo milti-ark sib, ka depoze ak prepare yon porosite ki ba nan fim metal, fim konpoze.Si yo itilize Al ak Si kòm materyèl sib pou sib magnetron planar jimo ki enstale nan periferik la, yo ka depoze ak prepare fim metal-seramik Al203 oswa Si0.Anplis de sa, plizyè ti avyon nan sous evaporasyon milti-ark ka enstale nan periferik la, ak materyèl sib li yo ka Cr oswa Ni, ak fim metal ak fim konpoze multi ka depoze ak prepare.Se poutèt sa, teknoloji kouch konpoze sa a se yon teknoloji kouch konpoze ak aplikasyon pou plizyè.
Tan poste: Nov-08-2022