Anjeneral, reyaksyon CVD depann sou tanperati ki wo, kidonk yo rele depo vapè chimik tèmik eksite (TCVD).Li jeneralman itilize précurseurs inòganik epi li fèt nan réacteurs cho-miray ak frèt-miray.Metòd chofe li yo gen ladan chofaj frekans radyo (RF), chofaj radyasyon enfrawouj, chofaj rezistans, elatriye.
Depo vapè chimik cho miray la
Aktyèlman, cho-miray chimik vapè depozisyon raktor se yon gwo founo tèrmostatik, anjeneral, chofe ak eleman rezistan, pou pwodiksyon tanzantan.Desen yon etablisman pwodiksyon depo chimik vapè cho-miray pou kouch zouti chip yo montre jan sa a.Sa a depo vapè chimik cho-miray ka kouvri TiN, TiC, TiCN ak lòt fim mens.Réacteurs a ka fèt pou gwo ase lè sa a, kenbe yon gwo kantite konpozan, ak kondisyon yo ka kontwole trè byen presi pou depozisyon.Pic 1 montre yon aparèy kouch epitaksi pou dopaj Silisyòm nan pwodiksyon aparèy semi-conducteurs.Substra a nan gwo fou a mete nan yon direksyon vètikal diminye kontaminasyon nan sifas la depo pa patikil, ak anpil ogmante chaj pwodiksyon an.Réacteurs cho-miray pou pwodiksyon semiconductor yo dabitid opere nan pwesyon ba.
Tan poste: Nov-08-2022