A berendezés az elektronsugaras elpárologtatási technológiát alkalmazza.A katódszálból elektronok bocsátanak ki, és egy bizonyos sugáráramba fókuszálnak, amelyet a katód és a tégely közötti potenciál felgyorsít, hogy megolvadjon és elpárologjon a bevonóanyag.Nagy energiasűrűséggel rendelkezik, és 3000 ℃-nál magasabb olvadásponttal képes elpárologtatni a bevonóanyagot.A fólia nagy tisztaságú és magas hőhatékonysággal rendelkezik.
A berendezés elektronsugaras párolgási forrással, ionforrással, filmvastagság-figyelő rendszerrel, filmvastagság-korrekciós szerkezettel és stabil esernyős munkadarab-forgató rendszerrel van felszerelve.Az ionforrás által támogatott bevonat révén a film tömörsége nő, a törésmutató stabilizálódik, és elkerülhető a nedvesség miatti hullámhossz-eltolódás jelensége.A teljesen automatikus filmvastagság valós idejű monitorozó rendszer biztosítja a folyamat megismételhetőségét és stabilitását.Önolvadó funkcióval van felszerelve, hogy csökkentse a kezelő képességeitől való függőséget.
A berendezés különféle oxidokhoz és fémbevonatokhoz használható, és többrétegű precíziós optikai filmekkel bevonható, mint például AR film, hosszú hullámáteresztő, rövidhullámáteresztő, fényesítő film, AS / AF film, IRCUT, színes filmrendszer , gradiens filmrendszer, stb. Széles körben használják AR szemüvegekben, optikai lencsékben, fényképezőgépekben, optikai lencsékben, szűrőkben, félvezetőiparban stb.