HFCVD0606

A kémiai gőzleválasztó berendezés vákuumbevonat kamrája független kétrétegű vízhűtő szerkezetet vesz fel, amely hatékony és egyenletes a hűtésben, és biztonságos és stabil szerkezetű.A berendezést dupla ajtókkal, több megfigyelőablakkal és több bővítő interfésszel tervezték, amely kényelmes kiegészítő perifériák külső csatlakoztatására, mint például infravörös hőmérsékletmérés, spektrális elemzés, videó megfigyelés és hőelem.A fejlett tervezési koncepció megkönnyíti és egyszerűvé teszi a berendezések napi nagyjavítását és karbantartását, konfigurációváltását és frissítését, valamint hatékonyan csökkenti a használati és frissítési költségeket.

A berendezés jellemzői:

1. A berendezés felfújó alkatrészei elsősorban tömegáram-mérőt, mágnesszelepet és gázkeverő tartályt tartalmaznak, amelyek biztosítják a folyamatgáz áramlásának pontos szabályozását, az egyenletes keverést és a különböző gázok biztonságos elkülönítését, és kiválaszthatják a gázrendszer alkatrészeit a folyékony gázforrás, megkönnyíti a folyékony szénforrások széles választékának személyre szabott kiválasztását, valamint a szintetikus vezetőképes gyémánt és elektródás folyékony bórforrások biztonságos használatát.
2. A légelszívó egység csendes és hatékony forgólapátos vákuumszivattyúval és turbó molekuláris szivattyúrendszerrel van felszerelve, amely gyorsan képes megfelelni a nagy vákuum háttérkörnyezetének.A vákuumméréshez az ellenállásmérővel és ionizációs mérővel ellátott kompozit vákuummérőt, valamint a kapacitív filmmérő rendszert használják, amely széles tartományban képes mérni a különböző technológiai gázok nyomását.A lerakódási nyomást teljesen automatikusan szabályozza a nagy pontosságú arányos szabályozószelep.
3. A hűtővíz komponens többcsatornás víznyomás-, áramlás-, hőmérsékletméréssel és szoftveres automatikus felügyelettel van felszerelve.A különböző hűtőelemek függetlenek egymástól, ami kényelmes a gyors hibadiagnosztikához.Minden ág független szelepkapcsolóval rendelkezik, ami biztonságos és hatékony.
4. Az elektromos vezérlőelemek nagy méretű ember-gép interfész LCD-képernyőt használnak, és együttműködnek a PLC teljesen automatikus vezérlésével, hogy megkönnyítsék a folyamatképlet szerkesztését és importálását.A grafikus görbe vizuálisan megjeleníti a különböző paraméterek változásait és értékeit, a berendezés és a folyamatparaméterek pedig automatikusan rögzítésre és archiválásra kerülnek a problémakövetés és az adatstatisztikai elemzés megkönnyítése érdekében.
5. A munkadarab-állvány szervomotorral van felszerelve, amely vezérli a hordozóasztal emelését és süllyesztését.A grafit vagy vörösréz hordozóasztal választható.A hőmérséklet mérése hőelem segítségével történik.
6. Az állványelemek egészben vagy külön-külön is megtervezhetők az ügyfelek igényei szerint, hogy megfeleljenek az ügyfelek speciális kezelési követelményeinek.
7. A tömítőlemez alkatrészei gyönyörűek és elegánsak.A berendezés különböző funkcionális modulterületein található tömítőlemezek gyorsan szétszedhetők, illetve egymástól függetlenül nyithatók és zárhatók, ami nagyon kényelmes a használata.

A forró filamentumú CVD berendezés alkalmas gyémánt anyagok, köztük vékonyréteg bevonat, önhordó vastag film, mikrokristályos és nanokristályos gyémánt, vezetőképes gyémánt stb. felhordására. Főleg cementált keményfém vágószerszámok, félvezető anyagok kopásálló védőbevonatára használják. például szilícium és szilícium-karbid, eszközök hőelvezető bevonata, bórral adalékolt vezetőképes gyémánt elektróda, elektrolitikus víz ózonos fertőtlenítése vagy szennyvízkezelés.