A kemény bevonatok kopásállóságának, kenésének, korrózióállóságának és egyéb tulajdonságainak javítására irányuló piaci kereslet gyors növekedésével a katódos íves mágneses szűrő ionos bevonóberendezések kiemelt szerepet kaptak.A berendezés a leggyakrabban használt és hatékony 90 fokos könyökkör alakú mágneses szűrőeszközt alkalmazza, amely hatékonyan távolítja el a nagy részecskéket, így teljes mértékben kihasználja a katódos ívion bevonat technológia előnyeit.A DLC szuperkemény bevonatok készítése területén, különösen a Ta-C bevonatok készítése terén, amelyek számos kiváló fizikai és kémiai tulajdonsággal rendelkeznek, mint például nagy keménység, alacsony súrlódási együttható, hővezetés, szigetelés, UV-elnyelés, sugárzási sérülésekkel szembeni ellenállás, korrózióállóság stb., az előnyök különösen jelentősek.A Ta-C bevonatok átlagos keménysége elérheti a 63 GPa-t.
A berendezéssel hibrid gyémántszerű szénbevonatok, például Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN lerakhatók, amelyek alkalmasak mikrofúrásra, marókra, menetfúrókra, rúd alakú marókra, autóalkatrészekre, orvosi eszközökre és egyéb. mezőket.
A lézeres Raman spektrum teszt eredményei, a gyorsacél felületén a Cr átmeneti réteg Raman spektruma:
20210122-es minta, a Raman-teszt eredményeinek Gauss-illesztése (ID/IG=0,224, az sp3-tartalom elég magas):
A Nano benyomó műszer keménységi vizsgálati eredményei szerint a 20210122 minta átlagos keménysége 62,7 GPa:
MFA0605 |
φ600*H500 (mm) |