A reaktív magnetronos porlasztás azt jelenti, hogy reaktív gázt vezetnek be, hogy reakcióba lépjen a porlasztott részecskékkel a porlasztás során, és így összetett film keletkezik.Reaktív gázt tud szállítani, hogy egyidejűleg reagáljon a porlasztó vegyület célpontjával, és reaktív gázt is szállíthat, hogy reagáljon a...
Olvass tovább