1.Az ívfény elektronáramlásának jellemzői
Az ívkisüléssel előállított ívplazmában az elektronáramlás, az ionáramlás és a nagyenergiájú semleges atomok sűrűsége sokkal nagyobb, mint az izzító kisülésé.A bevonat térben több gázion és fémion ionizált, gerjesztett nagyenergiájú atom, különböző aktív csoportok találhatók, amelyek fontos szerepet játszanak a bevonási folyamat melegítési, tisztítási, bevonási szakaszában.Az ívelektronáram cselekvési formája eltér az ionsugárétól, amelyek nem mindegyike konvergál „nyalábbá”, hanem többnyire divergens állapotban, ezért ívelektronáramlásnak nevezzük.Mivel az ívelektronok az anód felé áramlanak, az ívelektronáram mindenhova irányul, ahol az ívtáp pozitív elektródája csatlakozik, és az anód lehet munkadarab, segédanód, tégely stb.
2. Ívelektronáram generálásának módszere
(1) A gázforrás ívelektronáramot generál: az üreges katód ívkisülés és a forró huzal ívkisülés ívárama elérheti a 200 A-t, és az ívfeszültség 50-70 V.
(2) Szilárd forrás ívelektronáramot generál: katód ívforrás, beleértve a kisívű forrást, hengeres ívforrás, négyszögletes síkú nagyívű forrás stb. Az egyes katódos ívforrások kisülési ívárama 80-200 A, és az ívfeszültség 18-25V.
A nagy sűrűségű és alacsony energiájú ívelektronáram kétféle ívkisülésű plazmában intenzív ütközési ionizációt válthat ki gáz- és fémfilm atomokkal, több gáziont, fémiont és különféle nagyenergiájú aktív atomokat és csoportokat nyerve, ezáltal javítva a filmréteg ionjainak összaktivitása.
– Ezt a cikket Guangdong Zhenhua, avákuumbevonó gép gyártója
Feladás időpontja: 2023. május 31