① A filmvastagság jó szabályozhatósága és megismételhetősége
Azt, hogy a filmvastagság egy előre meghatározott értékkel szabályozható-e, filmvastagság szabályozhatóságnak nevezzük.A szükséges rétegvastagság többször is megismételhető, amit filmvastagság-ismételhetőségnek nevezünk. Mivel a vákuumporlasztásos bevonat kisülési árama és célárama külön szabályozható.Ezért a porlasztott film vastagsága szabályozható, és az előre meghatározott vastagságú fólia megbízhatóan lerakható.Ezenkívül a porlasztó bevonat nagy felületen egyenletes vastagságú filmet kaphat.
② Erős tapadás a film és az alapfelület között
A porlasztott atomok energiája 1-2 nagyságrenddel nagyobb, mint az elpárolgott atomoké.A szubsztrátumra lerakódott nagyenergiájú porlasztott atomok energiakonverziója sokkal nagyobb, mint az elpárolgott atomoké, ami nagyobb hőt termel, és fokozza a tapadást a porlasztott atomok és a szubsztrátum között.Ezenkívül egyes nagy energiájú porlasztott atomok különböző fokú injektálást produkálnak, és pszeudodiffúziós réteget képeznek a hordozón.Ezen túlmenően a filmképző folyamat során mindig megtisztítják és aktiválják a hordozót a plazma régióban, ami eltávolítja a gyenge tapadású porlasztó atomokat, valamint tisztítja és aktiválja a hordozó felületét.Ezért a porlasztott film erősen tapad az aljzathoz.
③ A céltól eltérő új anyagfilm készíthető
Ha a porlasztás során reaktív gázt vezetünk be, hogy az reagáljon a céllal, akkor a céltól teljesen eltérő új anyagfilmet kaphatunk.Például szilíciumot használnak porlasztási célpontként, és oxigént és argont együtt helyeznek a vákuumkamrába.Porlasztás után SiOz szigetelő fólia nyerhető.Titánt használva porlasztási célpontként a nitrogén és az argon együtt kerül a vákuumkamrába, és porlasztás után nyerhető a fázis TiN aranyszerű film.
④ Nagy tisztaságú és jó minőségű film
Mivel a porlasztófilm-előkészítő berendezésben nincs tégely komponens, a tégelyfűtő anyag komponensei nem keverednek a porlasztófilmrétegben.A porlasztásos bevonat hátrányai közé tartozik, hogy a filmképző sebessége lassabb, mint a párolgásos bevonaté, az aljzat hőmérséklete magasabb, könnyen befolyásolható a szennyező gázokkal, és bonyolultabb a készülék szerkezete.
Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua, egy gyártó tette közzévákuum bevonó berendezés
Feladás időpontja: 2023.09.09