1. A munkadarab előfeszítése kicsi
Az ionizációs sebességet növelő eszköz hozzáadásával a kisülési áramsűrűség megnő, és az előfeszítő feszültség 0,5-1 kV-ra csökken.
Csökken a nagyenergiájú ionok túlzott bombázása által okozott visszaporlasztás és a munkadarab felületét érő károsító hatás.
2. Megnövekedett plazma sűrűség
Az ütközési ionizációt elősegítő különféle intézkedésekkel egészültek ki, és a fémionizációs arány 3%-ról több mint 15%-ra nőtt.Az állionok és a nagyenergiájú semleges atomok, a nitrogénionok, a nagyenergiájú aktív atomok és az aktív csoportok sűrűsége a bevonat kamrában megnő, ami elősegíti a vegyületek képződését.A fenti különféle fokozott izzító kisülésű ion bevonatolási technológiák képesek voltak TN kemény filmrétegek előállítására reakcióleválasztással nagyobb plazmasűrűség mellett, de mivel az izzító kisülés típushoz tartoznak, a kisülési áramsűrűség nem elég nagy (mA/cm2 szint még mindig ), és a teljes plazmasűrűség nem elég magas, és a reakcióelegy lerakódási folyamata nehézkes.
3. A pontszerű párolgási forrás bevonati tartománya kicsi
A különféle továbbfejlesztett ionos bevonási technológiák elektronsugaras párolgási forrást használnak, és pontszerű párolgási forrásként gantu-t használnak, amely a gantu felett egy bizonyos intervallumra korlátozódik a reakcióleválasztáshoz, így alacsony a termelékenység, nehéz a folyamat, és nehéz iparosítani.
4. Elektronikus pisztoly nagynyomású működése
Az elektronágyú feszültsége 6 ~ 30 kV, a munkadarab előfeszítési feszültsége 0,5 ~ 3 kV, ami a nagyfeszültségű működéshez tartozik, és bizonyos biztonsági kockázatokkal jár.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, aoptikai bevonógépek gyártója.
Feladás időpontja: 2023. május 12