1. A párolgási sebesség hatással lesz az elpárolgott bevonat tulajdonságaira
A párolgási sebesség nagyban befolyásolja a lerakódott filmet.Mivel az alacsony lerakódási sebességgel kialakított bevonatszerkezet laza és könnyen előállítható nagy szemcselerakódás, nagyon biztonságos a nagyobb párolgási sebesség választása a bevonatszerkezet tömörségének biztosítása érdekében.Ha a maradék gáz nyomása a vákuumkamrában állandó, akkor a hordozó bombázási sebessége állandó érték.Ezért a leválasztott filmben lévő maradék gáz mennyisége a nagyobb leválasztási sebesség kiválasztása után csökken, így csökken a kémiai reakció a maradék gázmolekulák és az elpárolgott filmrészecskék között.Ezért a leválasztott film tisztasága javítható.Meg kell jegyezni, hogy ha a lerakódási sebesség túl gyors, az növelheti a fólia belső feszültségét, növeli a fólia hibáit, és akár a film elszakadásához is vezethet.Különösen a reaktív bepárlási bevonat folyamatában, annak érdekében, hogy a reakciógáz teljes mértékben reagáljon a párologtató filmanyag részecskéivel, alacsonyabb leválasztási sebességet választhat.Természetesen a különböző anyagok eltérő párolgási sebességet választanak.Gyakorlati példaként – a fényvisszaverő fólia felhordása, Ha a film vastagsága 600×10-8cm és a párolgási idő 3s, akkor a visszaverőképesség 93%.Ha azonban a párolgási sebesség lelassul azonos vastagsági feltételek mellett, 10 percet vesz igénybe a filmlerakódás befejezése.Ekkor a film vastagsága megegyezik.A fényvisszaverő képesség azonban 68%-ra csökkent.
2. Az aljzat hőmérséklete hatással lesz a párolgási bevonatra
Az aljzat hőmérséklete nagyban befolyásolja a párolgási bevonatot.A hordozófelületen magas hőmérsékleten adszorbeált maradék gázmolekulák könnyen eltávolíthatók.Főleg a vízgőz molekulák eliminálása fontosabb.Sőt, magasabb hőmérsékleten nem csak a fizikai adszorpcióból a kémiai adszorpcióba való átalakulást könnyű elősegíteni, így növelve a részecskék közötti kötőerőt.Ezenkívül csökkentheti a gőzmolekulák átkristályosodási hőmérséklete és a szubsztrátum hőmérséklete közötti különbséget is, így csökkentve vagy kiküszöbölve a film alapú interfész belső feszültségét.Ezen túlmenően, mivel a hordozó hőmérséklete a film kristályos állapotához kapcsolódik, gyakran könnyű amorf vagy mikrokristályos bevonatokat képezni alacsony hordozóhőmérséklet vagy melegítés nélkül.Éppen ellenkezőleg, ha a hőmérséklet magas, könnyen lehet kristályos bevonatot képezni.Az aljzat hőmérsékletének növelése a bevonat mechanikai tulajdonságainak javítását is elősegíti.Természetesen az aljzat hőmérséklete nem lehet túl magas, hogy megakadályozza a bevonat elpárolgását.
3. A vákuumkamrában maradó gáznyomás hatással lesz a film tulajdonságaira
A vákuumkamrában lévő maradék gáz nyomása nagyban befolyásolja a membrán teljesítményét.A túl nagy nyomású maradék gázmolekulák nemcsak könnyen ütközhetnek a párolgó részecskékkel, ami csökkenti a hordozón lévő emberek mozgási energiáját és befolyásolja a film tapadását.Ezenkívül a túl magas maradék gáznyomás súlyosan befolyásolja a film tisztaságát és csökkenti a bevonat teljesítményét.
4. A párolgási hőmérséklet hatása a párolgási bevonatra
A párolgási hőmérséklet membránteljesítményre gyakorolt hatását a párolgási sebesség hőmérséklet függvényében történő változása mutatja.Ha a párolgási hőmérséklet magas, a párolgási hő csökken.Ha a membránanyagot a párolgási hőmérséklet felett párologtatjuk el, akkor a hőmérséklet enyhe változása is éles változást okozhat a membránanyag párolgási sebességében.Ezért nagyon fontos a párolgási hőmérséklet pontos szabályozása a film lerakása során, hogy elkerüljük a nagy hőmérsékleti gradienst, amikor a párolgási forrást melegítjük.A könnyen szublimálható fóliaanyag esetében szintén nagyon fontos, hogy magát az anyagot válasszuk ki a párolgási és egyéb intézkedések fűtőanyagaként.
5. Az aljzat és a bevonatkamra tisztítási állapota befolyásolja a bevonat teljesítményét
Nem hagyható figyelmen kívül az aljzat és a bevonókamra tisztaságának hatása a bevonat teljesítményére.Ez nemcsak a lerakódott film tisztaságát befolyásolja súlyosan, hanem csökkenti a film tapadását is.Ezért az aljzat tisztítása, a vákuumbevonat kamra és a hozzá kapcsolódó alkatrészek (például a hordozókeret) tisztítása, valamint a felületi gáztalanítás mind nélkülözhetetlen folyamatok a vákuumbevonat folyamatában.
Feladás időpontja: 2023.02.28