1. Thermal CVD technológia
A keménybevonatok többnyire fémkerámia bevonatok (TiN stb.), amelyek a bevonatban a fém reakciójával és a reaktív elgázosítással jönnek létre.Eleinte a termikus CVD technológiát használták a kombinációs reakció aktiválási energiájának biztosítására hőenergiával 1000 ℃ magas hőmérsékleten.Ez a hőmérséklet csak a TiN és más kemény bevonatok felhordására alkalmas keményfém szerszámokra.Eddig még mindig fontos technológia a TiN-Al20 kompozit bevonatok felhordása a cementált keményfém szerszámfejekre.
2. Üreges katód ion bevonat és forró huzal ív ion bevonat
Az 1980-as években üreges katód ion bevonatot és forró huzal ív ion bevonatot használtak bevonatos vágószerszámok lerakására.Mindkét ionos bevonási technológia ívkisüléses ionbevonási technológia, akár 20-40%-os fémionizációs sebességgel.
3. Katódív ion bevonat
A katódos ívionos bevonat megjelenése a keménybevonatok formákra történő felvitelének technológiájának fejlődéséhez vezetett.A katódos ívion bevonat ionizációs sebessége 60% ~ 90%, ami lehetővé teszi, hogy nagyszámú fémion és reakciógáz ion elérje a munkadarab felületét, és továbbra is magas aktivitást tartson fenn, ami reakciólerakódást és kemény bevonatok kialakulását eredményezi, mint pl. Ón.Jelenleg a katódos ívionos bevonási technológiát főként kemény bevonatok felvitelére használják formákra.
A katódos ívforrás szilárdtest párologtató forrás, rögzített olvadékmedence nélkül, és az ívforrás pozíciója tetszőlegesen elhelyezhető, javítva a bevonó helyiség helykihasználását és növelve a kemence terhelhetőségét.A katódos ívforrások formái közé tartoznak a kis körkörös katódívforrások, az oszlopos ívforrások és a téglalap alakú lapos nagyívű források.A kisívű források, oszlopos ívforrások és nagyívű források különböző alkatrészei külön-külön is elrendezhetők a többrétegű filmek és a nano többrétegű filmek lerakására.Eközben a katódos ívion bevonat magas fémionizációs sebessége miatt a fémionok több reakciógázt képesek elnyelni, ami széles folyamattartományt és egyszerű műveletet eredményez kiváló kemény bevonatok előállításához.A katódos ívionos bevonattal kapott bevonatréteg mikrostruktúrájában azonban durva cseppek találhatók.Az elmúlt években számos új technológia jelent meg a filmréteg szerkezetének finomítására, ami javította az ívion-bevonat film minőségét.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, aoptikai bevonógépek gyártója.
Feladás időpontja: 2023.04.28