Plazma közvetlen polimerizációs eljárás
A plazmapolimerizáció folyamata viszonylag egyszerű mind a belső elektródapolimerizációs berendezések, mind a külső elektródapolimerizációs berendezések esetében, de a plazmapolimerizációnál fontosabb a paraméterek kiválasztása, mivel a paraméterek nagyobb hatással vannak a polimer filmek szerkezetére és teljesítményére a plazmapolimerizáció során.
A közvetlen plazmapolimerizáció műveleti lépései a következők:
(1) Porszívózás
A vákuum alatti polimerizációs háttérvákuumot 1,3×10-1Pa-ra kell pumpálni.Az oxigén- vagy nitrogéntartalom szabályozásához speciális követelményeket igénylő polimerizációs reakciók esetén a háttérvákuum igény még magasabb.
(2) Töltésreakció monomer vagy vivőgázból és monomerből álló gáz keverék
A vákuum mértéke 13-130 Pa.A munkát igénylő plazmapolimerizációhoz megfelelő áramlásszabályozási módot és áramlási sebességet kell kiválasztani, általában 10,100 ml/perc.A plazmában a monomer molekulák ionizálódnak és disszociálódnak az energetikai részecskék bombázásával, ami aktív részecskéket, például ionokat és aktív géneket eredményez.A plazma által aktivált aktív részecskék a gázfázis és a szilárd fázis határfelületén plazmapolimerizáción mennek keresztül.A monomer a plazmapolimerizáció prekurzorának forrása, és a bemeneti reakciógáznak és monomernek bizonyos tisztaságúnak kell lennie.
(3) A gerjesztő tápegység kiválasztása
Plazma előállítható egyenáramú, nagyfrekvenciás, RF vagy mikrohullámú áramforrással, hogy plazmakörnyezetet biztosítsanak a polimerizációhoz.A tápegység kiválasztását a polimer szerkezetére és teljesítményére vonatkozó követelmények határozzák meg.
(4) A kisülési mód kiválasztása
A polimer követelményekhez a plazmapolimerizáció két kisülési mód közül választhat: folyamatos kisülés vagy impulzuskisülés.
(5) A kisülési paraméterek kiválasztása
A plazmapolimerizáció során a kisülési paramétereket figyelembe kell venni a plazmaparaméterek, a polimer tulajdonságai és a szerkezeti követelmények alapján.A polimerizáció során alkalmazott teljesítmény nagyságát a vákuumkamra térfogata, az elektródák mérete, a monomer áramlási sebessége és szerkezete, a polimerizációs sebesség, valamint a polimer szerkezete és teljesítménye határozza meg.Például, ha a reakciókamra térfogata 1 liter, és RF plazmapolimerizációt alkalmaznak, a kisülési teljesítmény 10-30 W tartományba esik.Ilyen körülmények között a keletkezett plazma aggregálódhat, és vékony filmet képezhet a munkadarab felületén.A plazma polimerizációs film növekedési sebessége a tápellátástól, a monomer típusától és az áramlási sebességtől, valamint a folyamat körülményeitől függően változik.Általában a növekedési sebesség 100 nm/perc ~ 1 um/perc.
(6) Paramétermérés plazmapolimerizációban
A plazmapolimerizáció során mérendő plazmaparaméterek és folyamatparaméterek a következők: kisülési feszültség, kisülési áram, kisülési frekvencia, elektronhőmérséklet, sűrűség, reakciócsoport típusa és koncentrációja stb.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, aoptikai bevonógépek gyártója.
Feladás időpontja: 2023. május 05