A porlasztó bevonógép folyamatfolyama

1. Bombázásos tisztító hordozó

1.1) A porlasztóbevonatoló gép izzókisülést használ az aljzat tisztításához.Vagyis töltse fel az argongázt a kamrába, a kisülési feszültség 1000 V körül van, A tápfeszültség bekapcsolása után izzító kisülés keletkezik, és a hordozót argonion bombázással tisztítják.

1.2) A csúcsminőségű dísztárgyakat iparilag előállító porlasztó bevonógépekben a kisívű források által kibocsátott titánionokat többnyire tisztításra használják.A porlasztó bevonógép kisívforrással van felszerelve, és a kisívű forrás kisülése által generált ívplazmában lévő titán ionáramot a hordozó bombázására és tisztítására használják.

2. Titán-nitrid bevonat

Titán-nitrid vékonyrétegek felhordásakor a porlasztás célanyaga a titán célanyag.A célanyag a porlasztó tápegység negatív elektródájához van csatlakoztatva, és a célfeszültség 400-500 V;Az argon fluxus fix, a szabályozó vákuum pedig (3-8) x10^-1PA.A hordozó az előfeszített tápegység negatív elektródájához csatlakozik, 100-200 V feszültséggel.

A porlasztó titán céltárgy tápellátásának bekapcsolása után izzás kisülés keletkezik, és nagy energiájú argonionok bombázzák a porlasztó célpontot, titán atomokat szórva ki a célpontról.

A reakciógáz nitrogént bevezetjük, majd a titánatomokat és a nitrogént titánionokká és nitrogénionokká ionizálják a bevonó kamrában.A hordozóra alkalmazott negatív előfeszítő elektromos tér vonzása alatt a titán- és nitrogénionok felgyorsulnak a szubsztrát felületére kémiai reakció és lerakódás céljából, és titán-nitrid filmréteget képeznek.

3. Vegye ki az aljzatot

Az előre meghatározott filmvastagság elérése után kapcsolja ki a porlasztó tápegységet, a hordozó előfeszítő tápegységet és a levegőforrást.Miután az aljzat hőmérséklete 120 ℃ alatt van, töltse fel levegővel a bevonat kamráját, és vegye ki az aljzatot.

Ezt a cikket közzétettemagnetron porlasztó bevonógép gyártó– Guangdong Zhenhua.