1. Azvákuum párologtató bevonatA folyamat magában foglalja a filmanyagok elpárologtatását, a gőzatomok nagyvákuumban történő szállítását, valamint a gócképződést és a gőzatomok növekedését a munkadarab felületén.
2. A vákuumpárologtató bevonat lerakódási vákuumfoka magas, általában 10-510-3Pa. A gázmolekulák szabad útja 1–10 m nagyságrendű, ami sokkal nagyobb, mint a párolgási forrás és a munkadarab közötti távolság, ezt a távolságot párolgási távolságnak nevezzük, általában 300–800 mm.A bevonat részecskéi aligha ütköznek gázmolekulákkal és gőzatomokkal és elérik a munkadarabot.
3. A vákuumpárologtató bevonatréteg nem tekercselt bevonat, és a gőzatomok közvetlenül a munkadarabhoz jutnak nagy vákuum alatt.A munkadarabon csak a párolgási forrás felőli oldala kaphatja meg a filmréteget, a munkadarab oldala és hátulja pedig alig kapja meg a fóliaréteget, és a filmréteg rossz bevonatú.
4. A vákuumpárologtató bevonatréteg részecskéinek energiája alacsony, a munkadarabot elérő energia a párolgás által szállított hőenergia.Mivel a munkadarab nem torzul a vákuumos bepárlási bevonat során, a fématomok csak a párolgási hőre támaszkodnak a párolgás során, a párolgási hőmérséklet 1000-2000 °C, a szállított energia pedig 0,1-0,2 eV, így a fématomok energiája a filmrészecskék alacsonyak, a filmréteg és a mátrix közötti kötőerő kicsi, és nehéz összetett bevonatot képezni.
5. A vákuumpárologtató bevonatréteg finom szerkezetű.A vákuumpárologtatásos bevonat nagy vákuum alatt jön létre, és a gőzben lévő filmszemcsék alapvetően atomi léptékűek, finom magot képezve a munkadarab felületén.
Feladás időpontja: 2023. június 14