A katódos ívforrású ionbevonat folyamata alapvetően megegyezik a többi bevonási technológiaéval, és egyes műveletek, mint például a munkadarabok beszerelése és a porszívózás, már nem ismétlődnek meg.
1.Munkadarabok bombázásos tisztítása
Bevonás előtt 2×10-2Pa vákuummal argongázt vezetünk a bevonó kamrába.
Kapcsolja be az impulzus előfeszítésű tápegységet 20%-os munkaciklussal és 800-1000 V munkadarab előfeszítéssel.
Az ívfeszültség bekapcsolásakor hidegmezős ívfénykisülés keletkezik, amely nagy mennyiségű elektronáramot és titánion-áramot bocsát ki az ívforrásból, nagy sűrűségű plazmát képezve.A titán-ion felgyorsítja a munkadarabba való befecskendezését a munkadarabra ható negatív nagy előfeszítő nyomás alatt, bombázza és porlasztotta a maradék gázt és a munkadarab felületén adszorbeált szennyező anyagokat, valamint megtisztítja és megtisztítja a munkadarab felületét;Ugyanakkor a bevonó kamrában a klórgázt elektronok ionizálják, az argonionok pedig felgyorsítják a munkadarab felületének bombázását.
Ezért a bombázási tisztító hatás jó.Csak körülbelül 1 perc bombázásos tisztítás képes megtisztítani a munkadarabot, ezt nevezik „főív bombázásnak”.A titán ionok nagy tömege miatt, ha kis ívforrást használnak a munkadarab bombázására és túl hosszú ideig történő tisztítására, a munkadarab hőmérséklete túlmelegedhet, a szerszám éle megpuhulhat.Az általános gyártás során a kisívű forrásokat egyenként, felülről lefelé kapcsolják be, és minden kisívű forrásnak körülbelül 1 perc a bombázásos tisztítási ideje.
(1) A titán alsó réteg bevonása
A film és a hordozó közötti tapadás javítása érdekében a titán-nitrid bevonása előtt általában egy tiszta titán szubsztrát réteget vonnak be.Állítsa be a vákuumszintet 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa-ra, állítsa a munkadarab előfeszítési feszültségét 400-500 V-ra, és állítsa be az impulzus-előfeszítő tápegység munkaciklusát 40-50%-ra.Még mindig egyesével meggyújtja a kisívű forrásokat, hogy hidegmezős ívkisülést generáljon.A munkadarab negatív előfeszítő feszültségének csökkenése miatt a titán ionok energiája csökken.A munkadarab elérése után a porlasztási hatás kisebb, mint a lerakódási hatás, és titán átmeneti réteg képződik a munkadarabon, hogy javítsa a titán-nitrid kemény filmréteg és a hordozó közötti kötőerőt.Ez a folyamat egyben a munkadarab melegítésének folyamata is.Amikor a tiszta titán céltárgy kisütik, a plazma fénye azúrkék.
1.Ammóniás tál kemény filmbevonat
Állítsa be a vákuum mértékét 3×10-re-1-5 Pa, állítsa be a munkadarab előfeszítési feszültségét 100-200 V-ra, és állítsa be az impulzus-előfeszítő tápegység munkaciklusát 70-80%-ra.A nitrogén bevezetése után a titán az ívkisülési plazmával kombinálva titán-nitrid kemény filmréteget képez.Ezen a ponton a plazma fénye a vákuumkamrában cseresznyepiros.Ha C2H2, O2stb. kerül bevezetésre, a TiCN, TiO2stb. filmrétegek nyerhetők.
– Ezt a cikket Guangdong Zhenhua, avákuumbevonó gép gyártója
Feladás időpontja: 2023-01-01