Avákuum bevonatA gépi folyamat a következőkre oszlik: vákuumpárologtató bevonat, vákuumporlasztásos bevonat és vákuum-ionos bevonat.
1、Vákuumos párologtató bevonat
Vákuumos körülmények között párologtassa el az anyagot, például a fémet, fémötvözetet stb., majd vigye fel az alapfelületre, a párolgásos bevonási módszer gyakran ellenállásos melegítés, majd a bevonóanyag elektronsugaras bombázása. gázfázisba párologtatják, majd lerakják a hordozó felületére, történelmileg a vákuumgőzös leválasztás a PVD módszerben alkalmazott korábbi technológia.
2, porlasztó bevonat
A gázt (Ar) töltött vákuumkörülmények között izzító kisülésnek vetik alá. Ebben a pillanatban az argon (Ar) atomok ionon nitrogénionokká (Ar) alakulnak, az ionok az elektromos tér ereje hatására felgyorsulnak, és bombázzák a katód célpontját, amely a bevonóanyagból készül, a céltárgy kiporlasztásra kerül és lerakódik az alapfelületre. A porlasztásos bevonatban lévő ionok, amelyeket általában izzító kisüléssel nyernek, a 10-2pa és 10Pa közötti tartományban vannak, így a porlasztott részecskék könnyen ütközhetnek a vákuumkamrában lévő gázmolekulákkal, amikor a szubsztrát felé repülnek, így a mozgás iránya véletlenszerű, a lerakódott film pedig könnyen egységessé válik.
3. Ion bevonat
Vákuumkörülmények között, Vákuumos körülmények között, bizonyos plazmaionizációs technikát alkalmazott a bevonóanyag atomjainak részleges ionizálására. Ezzel egyidejűleg sok nagy energiájú semleges atom keletkezik, amelyek negatívan torzulnak a hordozón. Ily módon az ionok mély negatív torzítás hatására lerakódnak a hordozó felületén, vékony filmet képezve.
Feladás időpontja: 2023. március 23