A párolgásálló bevonat egy alapvető vákuumpárologtatásos bevonási módszer.A „párolgás” olyan vékonyréteg-előkészítési eljárást jelent, amelynek során a vákuumkamrában lévő bevonóanyagot felmelegítik és elpárologtatják úgy, hogy az anyag atomjai vagy molekulái elpárolognak, és kilépnek a felületről, gőzáramlási jelenséget hozva létre, amely a vákuumkamra felületére esik. szubsztrát vagy szubsztrát, és végül kondenzálják, hogy szilárd filmet képezzenek.
Az úgynevezett rezisztenciás párolgásforrás bevonási módszer tantál, molibdén, volfrám és más magas olvadáspontú fémek felhasználásával megfelelő alakú párolgási forrást készítenek, amely elpárologtatandó anyagokkal van megtöltve, átengedi a levegőt, közvetlenül melegít, ill. párologtassa el az elpárolgott anyagokat, vagy tegye alumínium-oxidba, berillium-oxidba és egyéb tégelyekbe közvetett melegítés és párologtatás céljából.Ez az ellenállásos fűtési párologtatási módszer.
Avákuumpárologtató bevonógépAz ellenállásfűtő által felmelegített és elpárologtatott előnye az egyszerű szerkezet, az alacsony költség és a megbízható használat.Használható alacsony olvadáspontú anyagok párologtatásos bevonására, különösen tömeggyártáshoz, alacsony bevonatminőségi követelmények mellett.Az alumínium tükrök gyártásában ez idáig még mindig nagyszámú ellenállásos hevítési és párologtatási bevonási eljárást alkalmaztak.
Az ellenálló párolgásforrású párologtatásos bevonási módszer hátránya, hogy a fűtéssel elérhető maximális hőmérséklet korlátozott, és a fűtőberendezés élettartama is rövid.Az elmúlt években az ellenálló párolgási forrás élettartamának javítása érdekében a berendezésgyár a bór-nitriddel szintetizált, hosszú élettartamú, vezetőképes kerámiaanyagot alkalmazta párolgási forrásként.Egy japán szabadalmi jelentés szerint 20-30% bór-nitridből és azzal összeolvasztható tűzálló anyagokból készíthető párolgási forrás (tégely), felületét pedig 62%-os cirkóniumréteggel vonhatja be. ~82%, a többi pedig cirkónium-szilícium ötvözet anyag.
Feladás időpontja: 2023.04.22