Mi az ionos bevonógép működési elve?

Ion bevonatgép a DM Mattox által az 1960-as években javasolt elméletből származik, és ekkor kezdődtek meg a megfelelő kísérletek;1971-ig Chambers és mások publikálták az elektronsugaras ionozás technológiáját;A reaktív evaporation plating (ARE) technológiát a Bunshah-jelentés 1972-ben emelte ki, amikor olyan szuperkemény fóliákat gyártottak, mint a TiC és a TiN;Smith és Molley szintén 1972-ben alkalmazta az üreges katód technológiát a bevonási folyamatban.Az 1980-as évekre az ionos bevonat Kínában végre elérte az ipari alkalmazás szintjét, és egymás után megjelentek a bevonási eljárások, mint például a vákuum többíves ionos bevonat és az ívkisüléses ionos bevonat.

A vákuumionos bevonat teljes munkafolyamata a következő: először is,szivattyúa vákuumkamrát, majdvárjona vákuumnyomást 4X10⁻ 3 Pa-ravagy jobb, csatlakoztatni kell a nagyfeszültségű tápegységet, és a hordozó és az elpárologtató közé alacsony hőmérsékletű kisfeszültségű kisülési gázból álló alacsony hőmérsékletű plazmaterületet kell kialakítani.Csatlakoztassa a szubsztrátum elektródáját 5000 V DC negatív nagyfeszültséggel, hogy a katód izzó kisülését képezze.A negatív izzási terület közelében inert gázionok keletkeznek.Bejutnak a katód sötét területébe, és az elektromos tér felgyorsítja őket, és bombázzák a hordozó felületét.Ez egy tisztítási folyamat, majd lépjen be a bevonási folyamatba.A bombázásos melegítés hatására egyes bevonatanyagok elpárolognak.A plazma területe bejut a protonokba, elektronokkal és inert gázionokkal ütközik, kis részük ionizálódik. Ezek a nagy energiájú ionizált ionok bombázzák a film felületét és bizonyos mértékig javítják a film minőségét.

A vákuumionos bevonat elve: a vákuumkamrában, a gázkisülés jelensége vagy az elpárologtatott anyag ionizált részének felhasználásával, az elpárologtatott anyag ionjainak vagy gázionjainak bombázása mellett ezeket az elpárologtatott anyagokat vagy reagenseiket egyidejűleg lerakják a hordozóra. hogy vékony filmet kapjunk.Az ionos bevonatgépegyesíti a vákuumpárologtatást, a plazmatechnológiát és a gázkisülést, ami nem csak a film minőségét javítja, hanem kibővíti a fólia alkalmazási körét is.Ennek az eljárásnak az előnyei az erős diffrakció, a jó filmtapadás és a különféle bevonóanyagok.Az ionozás elvét először a DM Mattox javasolta.Sokféle ionbevonat létezik.A leggyakoribb típus a párolgásos fűtés, beleértve az ellenállásfűtést, az elektronsugaras fűtést, a plazma elektronsugaras fűtést, a nagyfrekvenciás indukciós fűtést és egyéb fűtési módszereket.