típus | Név | Elv | Üzemi nyomástartomány |
Mechanikus szivattyú | Egygépes olajtömítésű mechanikus szivattyú | A gáz összenyomása és leeresztése gépekkel | 105--101 |
Duplagépes olajtömítésű mechanikus szivattyú | 105--102 | ||
Molekuláris pumpa | 101--108 | ||
Roots szivattyú | 103--102 | ||
Gőz befecskendező szivattyú | Olaj befecskendező szivattyú | A gáz elszállítása a gőzsugár lendületével | 101--107 |
Olaj diffúziós szivattyú | 101--106 | ||
Higany diffúziós szivattyú | 101--105 | ||
Száraz szivattyú | Porlasztó ionszivattyú | Gázok abszorpciója és eltávolítása szublimálással vagy porlasztással kialakított abszorbens film segítségével | 101--108 |
Titán szublimációs szivattyú | 101--109 | ||
Adszorpciós szivattyú | Gázeltávolítás fizikai adszorpcióval alacsony hőmérsékletű felületeken | 106--102 | |
Kondenzátum szivattyú | 102--1011 | ||
Kondenzátum adszorpciós szivattyú | 102--1010 |
Feladás időpontja: 2022.11.08