1. A porlasztó bevonat jellemzői
A hagyományos vákuumpárologtató bevonattal összehasonlítva a porlasztó bevonat a következő tulajdonságokkal rendelkezik:
(1) Bármilyen anyag porlasztható, különösen a magas olvadáspontú, alacsony gőznyomású elemek és vegyületek.Mindaddig, amíg szilárd anyagról van szó, legyen szó fémről, félvezetőről, szigetelőről, vegyületről és keverékről stb., akár blokkról van szó, a szemcsés anyag felhasználható célanyagként.Mivel a szigetelőanyagok és ötvözetek, például oxidok porlasztása során csekély bomlás és frakcionálás következik be, felhasználhatók vékony filmek és ötvözetfóliák készítésére a célanyaghoz hasonló egyenletes komponensekkel, sőt bonyolult összetételű szupravezető filmek előállítására is. a reaktív porlasztásos módszerrel a célanyagtól teljesen eltérő vegyületek filmjei is előállíthatók, például oxidok, nitridek, karbidok és szilicidek.
(2) Jó tapadás a porlasztott film és az aljzat között.Mivel a porlasztott atomok energiája 1-2 nagyságrenddel nagyobb, mint az elpárolgott atomoké, a hordozóra lerakódott nagyenergiájú részecskék energiaátalakítása nagyobb hőenergiát generál, ami fokozza a porlasztott atomok tapadását a hordozóhoz.A nagy energiájú porlasztott atomok egy részét különböző mértékben injektálják, úgynevezett pszeudo-diffúziós réteget képezve a hordozón, ahol a porlasztott atomok és a szubsztrátum anyagának atomjai „elegyednek” egymással.Ezen túlmenően a porlasztó részecskék bombázása során a szubsztrát mindig megtisztul és aktiválódik a plazmazónában, ami eltávolítja a rosszul tapadó kicsapódott atomokat, tisztítja és aktiválja a hordozófelületet.Ennek eredményeként a porlasztott filmréteg tapadása a hordozóhoz nagymértékben megnövekszik.
(3) A porlasztásos bevonat nagy sűrűsége, kevesebb lyuk, és nagyobb tisztaságú a filmréteg, mivel nincs tégelyszennyeződés, ami elkerülhetetlen a vákuumgőzös leválasztás során a porlasztásos bevonási folyamat során.
(4) A filmvastagság jó szabályozhatósága és ismételhetősége.Mivel a kisülési áram és a céláram külön szabályozható a porlasztásos bevonat során, a filmvastagság a céláram szabályozásával szabályozható, így a filmvastagság szabályozhatósága és a filmvastagság reprodukálhatósága a porlasztásos bevonat többszöri porlasztásával jó , és az előre meghatározott vastagságú fólia hatékonyan bevonható.Ezenkívül a porlasztásos bevonat egyenletes rétegvastagságot érhet el nagy területen.Az általános porlasztásos bevonattechnika (főleg dipólporlasztás) esetében azonban a berendezés bonyolult és nagynyomású berendezést igényel;a porlasztásos leválasztás filmképződési sebessége alacsony, a vákuumpárologtatási leválasztás sebessége 0,1-5 nm/perc, míg a porlasztási sebesség 0,01-0,5 nm/perc;a szubsztrátum hőmérsékletének emelkedése nagy, és érzékeny a szennyező gázokra stb. Az RF-porlasztás és a magnetronporlasztási technológia fejlődése miatt azonban nagy előrelépés történt a gyors porlasztásos lerakódás elérésében és a hordozó hőmérsékletének csökkentésében.Ezen túlmenően az elmúlt években új – planáris magnetronos porlasztáson alapuló – porlasztó bevonási módszereket kutatnak a porlasztási levegő nyomásának minimalizálására egészen a nullanyomású porlasztásig, ahol a beszívott gáz nyomása a porlasztás során nulla lesz.
Feladás időpontja: 2022.11.08