Սարքավորումն ընդունում է ուղղահայաց առջևի դռան կառուցվածքը և կլաստերի դասավորությունը:Այն կարող է հագեցած լինել մետաղների և տարբեր օրգանական նյութերի գոլորշիացման աղբյուրներով և կարող է գոլորշիացնել տարբեր բնութագրերի սիլիկոնային վաֆլիներ:Հագեցված է ճշգրիտ հավասարեցման համակարգով, ծածկույթը կայուն է, և ծածկույթն ունի լավ կրկնելիություն:
GX600 ծածկույթի սարքավորումը կարող է ճշգրիտ, հավասարաչափ և վերահսկելիորեն գոլորշիացնել օրգանական լույս արձակող նյութերը կամ մետաղական նյութերը հիմքի վրա:Այն ունի պարզ թաղանթի ձևավորման, բարձր մաքրության և կոմպակտության առավելությունները:Ֆիլմի հաստության իրական ժամանակի մոնիտորինգի լրիվ ավտոմատ համակարգը կարող է ապահովել գործընթացի կրկնելիությունը և կայունությունը:Այն հագեցած է ինքնահալման ֆունկցիայով՝ նվազեցնելու կախվածությունը օպերատորի հմտություններից:
Սարքավորումը կարող է կիրառվել Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti և այլ մետաղական նյութերի վրա և կարող է պատվել մետաղական թաղանթով, դիէլեկտրական շերտի թաղանթով, IMD թաղանթով և այլն: Այն հիմնականում օգտագործվում է կիսահաղորդչում: արդյունաբերություն, ինչպիսիք են ուժային սարքերը, կիսահաղորդչային հետևի փաթեթավորման ենթաշերտի ծածկույթը և այլն:
GX600 | GX900 |
φ600*800 (մմ) | φ900*H1050 (մմ) |