Պլազմայի ուղղակի պոլիմերացման գործընթացը

Պլազմայի ուղղակի պոլիմերացման գործընթացը

Պլազմայի պոլիմերացման գործընթացը համեմատաբար պարզ է ինչպես ներքին էլեկտրոդների պոլիմերացման սարքավորումների, այնպես էլ արտաքին էլեկտրոդների պոլիմերացման սարքավորումների համար, սակայն պարամետրերի ընտրությունն ավելի կարևոր է պլազմայի պոլիմերացման ժամանակ, քանի որ պարամետրերն ավելի մեծ ազդեցություն ունեն պոլիմերային թաղանթների կառուցվածքի և կատարողականի վրա պլազմայի պոլիմերացման ժամանակ:

Ուղիղ պլազմայի պոլիմերացման գործողության քայլերը հետևյալն են.

(1) Փոշեկուլներ

Վակուումային պայմաններում պոլիմերացման ֆոնային վակուումը պետք է մղվի մինչև 1,3×10-1Pa:Պոլիմերացման ռեակցիաների համար, որոնք պահանջում են թթվածնի կամ ազոտի պարունակությունը վերահսկելու հատուկ պահանջներ, ֆոնային վակուումի պահանջն ավելի մեծ է:

(2) Լիցքավորման ռեակցիայի մոնոմեր կամ կրող գազի և մոնոմերի խառը գազ

Վակուումային աստիճանը 13-130Pa է:Աշխատանք պահանջող պլազմայի պոլիմերացման համար պետք է ընտրվեն հոսքի վերահսկման համապատասխան ռեժիմ և հոսքի արագություն, ընդհանուր առմամբ 10,100 մլ/րոպե:Պլազմայում մոնոմերների մոլեկուլները իոնացվում և տարանջատվում են էներգետիկ մասնիկների ռմբակոծմամբ, ինչի արդյունքում առաջանում են ակտիվ մասնիկներ, ինչպիսիք են իոնները և ակտիվ գեները:Պլազմայի կողմից ակտիվացված ակտիվ մասնիկները կարող են ենթարկվել պլազմայի պոլիմերացման գազի և պինդ փուլի միջերեսում:Մոնոմերն պլազմայի պոլիմերացման պրեկուրսորի աղբյուրն է, և մուտքային ռեակցիայի գազը և մոնոմերը պետք է ունենան որոշակի մաքրություն:

(3) Գրգռման հոսանքի աղբյուրի ընտրություն

Պլազման կարող է ստեղծվել՝ օգտագործելով DC, բարձր հաճախականության, ՌԴ կամ միկրոալիքային էներգիայի աղբյուրներ՝ պոլիմերացման համար պլազմային միջավայր ապահովելու համար:Էլեկտրամատակարարման ընտրությունը որոշվում է պոլիմերի կառուցվածքի և կատարողականի պահանջների հիման վրա:

(4) Լիցքաթափման ռեժիմի ընտրություն

Պոլիմերային պահանջների համար պլազմային պոլիմերացումը կարող է ընտրել երկու լիցքաթափման ռեժիմ՝ շարունակական լիցքաթափում կամ իմպուլսային լիցքաթափում:

(5) Լիցքաթափման պարամետրերի ընտրություն

Պլազմայի պոլիմերացում իրականացնելիս պետք է հաշվի առնել արտանետման պարամետրերը պլազմայի պարամետրերից, պոլիմերային հատկություններից և կառուցվածքի պահանջներից:Պոլիմերացման ընթացքում կիրառվող հզորության մեծությունը որոշվում է վակուումային խցիկի ծավալով, էլեկտրոդի չափով, մոնոմերի հոսքի արագությամբ և կառուցվածքով, պոլիմերացման արագությամբ և պոլիմերային կառուցվածքով և կատարողականությամբ:Օրինակ, եթե ռեակցիայի խցիկի ծավալը 1 լ է, և ՌԴ պլազմայի պոլիմերացումն ընդունված է, ապա լիցքաթափման հզորությունը կլինի 10-30 Վտ միջակայքում:Նման պայմաններում առաջացած պլազման կարող է ագրեգացվել՝ բարակ թաղանթ ձևավորելով աշխատանքային մասի մակերեսին:Պլազմայի պոլիմերացման թաղանթի աճի տեմպը տատանվում է էլեկտրամատակարարման, մոնոմերի տեսակից և հոսքի արագությունից և գործընթացի պայմաններից:Ընդհանուր առմամբ, աճի տեմպը 100 նմ / րոպե ~ 1 ում / րոպե է:

(6) Պարամետրերի չափումը պլազմայի պոլիմերացման մեջ

Պլազմայի պոլիմերացման ժամանակ չափվող պլազմային պարամետրերը և գործընթացի պարամետրերը ներառում են՝ լիցքաթափման լարումը, լիցքաթափման հոսանքը, լիցքաթափման հաճախականությունը, էլեկտրոնի ջերմաստիճանը, խտությունը, ռեակցիայի խմբի տեսակը և կոնցենտրացիան և այլն:

——Այս հոդվածը հրապարակվել է Guangdong Zhenhua Technology, aօպտիկական ծածկույթի մեքենաներ արտադրող.