Գոլորշիացման ծածկույթի ընթացքում թաղանթի շերտի միջուկացումը և աճը տարբեր իոնային ծածկույթի տեխնոլոգիայի հիմքն են:
1.Նուկլեացիա
Inվակուումային գոլորշիացման ծածկույթի տեխնոլոգիաԱյն բանից հետո, երբ թաղանթաշերտի մասնիկները գոլորշիացման աղբյուրից գոլորշիացվում են ատոմների տեսքով, դրանք բարձր վակուումով թռչում են անմիջապես աշխատանքային մասի վրա և ձևավորում թաղանթի շերտը՝ միջուկացման և մշակման մասի մակերեսին աճելու միջոցով:Վակուումային գոլորշիացման ժամանակ գոլորշիացման աղբյուրից փախչող թաղանթաշերտի ատոմների էներգիան կազմում է մոտ 0,2 էՎ։Երբ թաղանթի շերտի մասնիկների միջև համախմբվածությունը ավելի մեծ է, քան թաղանթի շերտի ատոմների և աշխատանքային մասի միջև կապող ուժը, ձևավորվում է կղզու միջուկ:Մեկ թաղանթաշերտի ատոմը մնում է աշխատանքային մասի մակերևույթի վրա ժամանակի ընթացքում անկանոն շարժում, դիֆուզիոն, միգրացիա կամ բախում այլ ատոմների հետ՝ ձևավորելով ատոմային կլաստերներ: Ատոմային կլաստերի ատոմների թիվը հասնում է որոշակի կրիտիկական արժեքի՝ կայուն: ձևավորվում է միջուկ, որը կոչվում է միատարր ձևավորված միջուկ:
հարթ և պարունակում է բազմաթիվ թերություններ և քայլեր, որոնք առաջացնում են աշխատանքային մասի տարբեր մասերի կլանման ուժի տարբերություն ռադիոակտիվ ատոմների նկատմամբ:Դեֆեկտի մակերեսի կլանման էներգիան ավելի մեծ է, քան սովորական մակերեսին, ուստի այն դառնում է ակտիվ կենտրոն, որը նպաստում է արտոնյալ միջուկացմանը, որը կոչվում է տարասեռ միջուկավորում։Երբ համակցման ուժը հավասար է կապող ուժին, կամ թաղանթի ատոմների և աշխատանքային մասի միջև կապող ուժն ավելի մեծ է, քան մեմբրանի ատոմների միջև կապող ուժը, ձևավորվում է շերտավոր կառուցվածք:Իոնապատման տեխնոլոգիայի մեջ շատ դեպքերում ձևավորվում է կղզու միջուկը:
2. Աճ
Երբ թաղանթի միջուկը ձևավորվում է, այն շարունակում է աճել՝ թակարդում ընկած ատոմները: Կղզիները աճում և միավորվում են միմյանց հետ՝ ձևավորելով ավելի մեծ կիսագնդեր՝ աստիճանաբար ձևավորելով կիսագնդային կղզու շերտ, որը տարածվում է աշխատանքային մասի մակերեսի վրա:
Երբ թաղանթի շերտի ատոմային էներգիան բարձր է, այն կարող է բավականաչափ ցրվել մակերեսի վրա և հարթ շարունակական թաղանթ կարող է ձևավորվել, երբ հետագա մուտքային ատոմային կլաստերները փոքր են: Եթե մակերեսի վրա ատոմների դիֆուզիան թույլ է և չափը կուտակված կլաստերները մեծ են, դրանք գոյություն ունեն որպես խոշոր թերակղզու միջուկներ: Կղզու միջուկի վերին մասը ուժեղ ստվերային ազդեցություն ունի գոգավոր մասի վրա, դա «ստվերային էֆեկտն» է: և արտոնյալ աճը, որի արդյունքում մակերեսի վրա գոգավորության աստիճանը մեծանում է` ձևավորելով բավարար չափի կոնաձև կամ սյունակային բյուրեղներ:Կոնաձև բյուրեղների միջև ձևավորվում են թափանցող դատարկություններ, և մակերևույթի կոշտության արժեքը մեծանում է: Բարձր վակուումում կարելի է ձեռք բերել նուրբ հյուսվածք, վակուումի աստիճանի նվազմամբ թաղանթի միկրոկառուցվածքը դառնում է ավելի ու ավելի հաստ:
Հրապարակման ժամանակը` մայիս-24-2023