Վակուումային իոնային ծածկույթը (կարճ ասած՝ իոնապատումը) մակերևույթի մշակման նոր տեխնոլոգիա է, որն արագորեն մշակվել է 1970-ականներին, որն առաջարկվել է 1963 թվականին ԱՄՆ-ում Somdia ընկերության DM Mattox-ի կողմից: Այն վերաբերում է գոլորշիացման աղբյուրի կամ ցրման գործընթացին: նպատակ է գոլորշիացնել կամ շաղ տալ ֆիլմի նյութը վակուումային մթնոլորտում:
Առաջինը մետաղական գոլորշի է առաջացնում՝ տաքացնելով և գոլորշիացնելով ֆիլմի նյութը, որը մասամբ իոնացվում է մետաղի գոլորշու և բարձր էներգիայի չեզոք ատոմների գազի արտանետման պլազմայի տարածության մեջ և հասնում է ենթաշերտին՝ թաղանթ ձևավորելու էլեկտրական դաշտի գործողության միջոցով։ ;վերջինս օգտագործում է բարձր էներգիայի իոններ (օրինակ՝ Ar+) ռմբակոծում է թաղանթի նյութի մակերեսը, որպեսզի ցրված մասնիկները գազի արտանետման տարածության միջով իոնացվեն իոնների կամ բարձր էներգիայի չեզոք ատոմների մեջ և գիտակցեն ենթաշերտի մակերեսը։ ֆիլմ կազմելու համար։
Այս հոդվածը հրապարակված է Guangdong Zhenhua-ի կողմից, որը արտադրող էվակուումային ծածկույթի սարքավորում
Հրապարակման ժամանակը՝ Մար-10-2023