Վակուումային գոլորշիացման ծածկույթի տեխնոլոգիայի ներդրում

2, Գոլորշիացման ջեռուցում

(1) Դիմադրության ջեռուցման գոլորշիացում
Ջեռուցման դիմացկուն գոլորշիացումն ամենապարզ և ամենատարածված ջեռուցման մեթոդն է, որը հիմնականում կիրառելի է 1500℃-ից ցածր հալման ջերմաստիճան ունեցող նյութերի ծածկման համար, մետաղալարով կամ թիթեղով բարձր հալման կետով մետաղներ (W, Mo, Ti, Ta, բորի նիտրիդ և այլն): սովորաբար պատրաստվում է գոլորշիացման աղբյուրի հարմար ձևի, որը բեռնված է գոլորշիացման նյութերով, էլեկտրական հոսանքի Ջոուլի ջերմության միջոցով, որպեսզի հալվի, գոլորշիացվի կամ սուբլիմացվի երեսպատման նյութը, գոլորշիացման աղբյուրի ձևը հիմնականում ներառում է բազմաշղթա պարույր, U-աձև, սինուսային ալիք: , բարակ ափսե, նավակ, կոն զամբյուղ և այլն: Միևնույն ժամանակ, մեթոդը պահանջում է, որ գոլորշիացման աղբյուրի նյութը ունենա բարձր հալման կետ, ցածր հագեցվածության գոլորշի ճնշում, կայուն քիմիական հատկություններ, չունենա քիմիական ռեակցիա ծածկույթի նյութի հետ բարձր ջերմաստիճանում, լավ ջերմակայունություն, հզորության խտության փոքր փոփոխություն և այլն: Այն ընդունում է բարձր հոսանք գոլորշիացման աղբյուրի միջոցով, որպեսզի այն տաքացնի և գոլորշիացնի ֆիլմի նյութը ուղղակի տաքացման միջոցով, կամ թաղանթանյութը տեղադրի գրաֆիտից և որոշակի բարձր ջերմաստիճանի դիմացկուն խառնարանի մեջ: մետաղական օքսիդներ (օրինակ՝ A202, B0) և այլ նյութեր՝ անուղղակի տաքացման համար, որպեսզի գոլորշիանան:
Ջեռուցման դիմադրության գոլորշիացման ծածկույթն ունի սահմանափակումներ. հրակայուն մետաղներն ունեն ցածր գոլորշի ճնշում, ինչը դժվար է բարակ թաղանթ պատրաստել;որոշ տարրեր հեշտ է համաձուլվածք ստեղծել ջեռուցման մետաղալարով.Հեշտ չէ համաձուլվածքի թաղանթի միասնական բաղադրություն ստանալը:Ջեռուցման դիմադրողականության գոլորշիացման մեթոդի պարզ կառուցվածքի, ցածր գնի և հեշտ շահագործման պատճառով այն գոլորշիացման մեթոդի շատ տարածված կիրառություն է:

(2) Էլեկտրոնային ճառագայթների տաքացման գոլորշիացում
Էլեկտրոնային փնջի գոլորշիացումը ծածկույթի նյութը գոլորշիացնելու մեթոդ է՝ այն ռմբակոծելով բարձր էներգիայի խտության էլեկտրոնային ճառագայթով՝ այն դնելով ջրով հովացվող պղնձե խառնարանում:Գոլորշիացման աղբյուրը բաղկացած է էլեկտրոնների արտանետման աղբյուրից, էլեկտրոնների արագացման էներգիայի աղբյուրից, խառնարանից (սովորաբար պղնձե խառնարան), մագնիսական դաշտի կծիկից և հովացման ջրի հավաքածուից և այլն: Այս սարքում ջեռուցվող նյութը տեղադրվում է ջրի մեջ։ - սառեցված խառնարան, և էլեկտրոնային ճառագայթը ռմբակոծում է նյութի միայն շատ փոքր մասը, մինչդեռ մնացած նյութի մեծ մասը մնում է շատ ցածր ջերմաստիճանում խառնարանի սառեցման ազդեցության տակ, որը կարելի է համարել որպես խառնարանի ռմբակոծված հատված:Այսպիսով, գոլորշիացման համար էլեկտրոնային ճառագայթով տաքացնելու մեթոդը կարող է խուսափել ծածկույթի նյութի և գոլորշիացման աղբյուրի նյութի միջև աղտոտումից:
Էլեկտրոնային ճառագայթների գոլորշիացման աղբյուրի կառուցվածքը կարելի է բաժանել երեք տեսակի՝ ուղիղ հրացաններ (Boules guns), օղակաձև ատրճանակներ (էլեկտրականորեն շեղված) և էլեկտրոնային հրացաններ (մագնիսականորեն շեղված):Մեկ կամ մի քանի կարասներ կարող են տեղադրվել գոլորշիացման կայանում, որը կարող է գոլորշիացնել և նստեցնել բազմաթիվ տարբեր նյութեր միաժամանակ կամ առանձին:

Էլեկտրոնային ճառագայթների գոլորշիացման աղբյուրներն ունեն հետևյալ առավելությունները.
① Էլեկտրոնային ճառագայթների ռմբակոծման գոլորշիացման աղբյուրի բարձր ճառագայթի խտությունը կարող է ձեռք բերել էներգիայի շատ ավելի մեծ խտություն, քան դիմադրության ջեռուցման աղբյուրը, որը կարող է գոլորշիացնել բարձր հալման կետով նյութեր, ինչպիսիք են W, Mo, Al2O3 և այլն:
②Ծածկույթի նյութը տեղադրվում է ջրով սառեցված պղնձե կարասի մեջ, որը կարող է խուսափել գոլորշիացման աղբյուրի նյութի գոլորշիացումից և դրանց միջև արձագանքից:
③ Ջերմությունը կարող է ուղղակիորեն ավելացվել ծածկույթի նյութի մակերևույթին, ինչը բարձրացնում է ջերմային արդյունավետությունը և ցածր ջերմային հաղորդման և ջերմային ճառագայթման կորուստը:
Էլեկտրոնային ճառագայթների տաքացման գոլորշիացման մեթոդի թերությունն այն է, որ էլեկտրոնային ատրճանակից առաջնային էլեկտրոնները և ծածկույթի նյութի մակերեսից երկրորդական էլեկտրոնները իոնացնում են գոլորշիացող ատոմները և գազի մնացորդային մոլեկուլները, ինչը երբեմն ազդում է թաղանթի որակի վրա:

(3) Բարձր հաճախականությամբ ինդուկցիոն ջեռուցման գոլորշիացում
Բարձր հաճախականության ինդուկցիոն ջեռուցման գոլորշիացումն այն է, որ կարասը ծածկող նյութով տեղադրվի բարձր հաճախականության պարուրաձև կծիկի կենտրոնում, որպեսզի ծածկույթի նյութը բարձր հաճախականության էլեկտրամագնիսական դաշտի ինդուկցիայի տակ առաջացնի ուժեղ պտտվող հոսանք և հիստերեզի ազդեցություն, որն առաջացնում է ֆիլմի շերտը տաքացնելու համար, մինչև գոլորշիանա և գոլորշիանա:Գոլորշիացման աղբյուրը սովորաբար բաղկացած է ջրով հովացվող բարձր հաճախականության կծիկից և գրաֆիտից կամ կերամիկական (մագնեզիումի օքսիդ, ալյումինի օքսիդ, բորի օքսիդ և այլն) կարասից։Բարձր հաճախականության էլեկտրամատակարարումը օգտագործում է տասը հազարից մինչև մի քանի հարյուր հազար Հց հաճախականություն, մուտքային հզորությունը մի քանի հարյուր կիլովատ է, որքան փոքր է թաղանթային նյութի ծավալը, այնքան բարձր է ինդուկցիոն հաճախականությունը:Ինդուկցիոն կծիկի հաճախականությունը սովորաբար պատրաստված է ջրով սառեցված պղնձե խողովակից:
Բարձր հաճախականությամբ ինդուկցիոն ջեռուցման գոլորշիացման մեթոդի թերությունն այն է, որ հեշտ չէ լավ կարգավորել մուտքային հզորությունը, այն ունի հետևյալ առավելությունները.
① Բարձր գոլորշիացման արագություն
②Գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանը միատեսակ է և կայուն, այնպես որ հեշտ չէ առաջացնել ծածկույթի կաթիլների ցողման երևույթը, ինչպես նաև կարող է խուսափել նստած թաղանթի վրա փորվածքների երևույթից:
③Գոլորշիացման աղբյուրը բեռնվում է մեկ անգամ, և ջերմաստիճանը համեմատաբար հեշտ և պարզ է վերահսկվում: