Իրականում, իոնային ճառագայթների օգնությամբ նստեցման տեխնոլոգիան կոմպոզիտային տեխնոլոգիա է:Սա կոմպոզիտային մակերևույթի իոնների բուժման տեխնիկա է, որը համատեղում է իոնների իմպլանտացիան և ֆիզիկական գոլորշիների նստեցման ֆիլմի տեխնոլոգիան և իոնային ճառագայթների մակերեսի օպտիմալացման նոր տեսակի տեխնիկան:Ի հավելումն ֆիզիկական գոլորշիների նստվածքի առավելությունների, այս տեխնիկան կարող է շարունակաբար աճեցնել ցանկացած հաստության թաղանթ ավելի խիստ հսկողության պայմաններում, զգալիորեն բարելավել թաղանթի շերտի բյուրեղությունն ու կողմնորոշումը, բարձրացնել թաղանթի/ենթաշերտի կպչունությունը, բարելավել խտությունը: թաղանթի շերտի վրա և սինթեզել բաղադրյալ թաղանթներ իդեալական ստոյխիոմետրիկ հարաբերակցությամբ սենյակային ջերմաստիճանի մոտ, ներառյալ նոր տեսակի թաղանթները, որոնք հնարավոր չէ ստանալ սենյակային ջերմաստիճանում և ճնշման տակ:Իոնային ճառագայթների օգնությամբ նստեցումը ոչ միայն պահպանում է իոնների իմպլանտացիայի գործընթացի առավելությունները, այլև կարող է ծածկել ենթաշերտը սուբստրատից բոլորովին այլ թաղանթով:
Ֆիզիկական գոլորշիների նստեցման և քիմիական գոլորշիների նստեցման բոլոր տեսակների մեջ կարող է ավելացվել մի շարք օժանդակ ռմբակոծման իոնային հրացաններ՝ ձևավորելու IBAD համակարգ, և կան երկու ընդհանուր IBAD գործընթացներ հետևյալ կերպ, ինչպես ցույց է տրված նկարում.
Ինչպես ցույց է տրված նկարում (ա), էլեկտրոնային ճառագայթի գոլորշիացման աղբյուրը օգտագործվում է ֆիլմի շերտը իոնային ատրճանակից արտանետվող իոնային ճառագայթով ճառագայթելու համար՝ այդպիսով իրականացնելով իոնային ճառագայթի օժանդակ նստեցում:Առավելությունն այն է, որ իոնային ճառագայթի էներգիան և ուղղությունը կարող են ճշգրտվել, բայց միայն մեկ կամ սահմանափակ համաձուլվածք կամ միացություն կարող է օգտագործվել որպես գոլորշիացման աղբյուր, և խառնուրդի բաղադրիչի և միացության յուրաքանչյուր գոլորշի ճնշումը տարբեր է, ինչը դժվարացնում է դա։ սկզբնական գոլորշիացման աղբյուրի կազմի ֆիլմի շերտը ստանալու համար:
Նկարը (բ) ցույց է տալիս իոնային ճառագայթի ցրման օգնությամբ նստվածքը, որը նաև հայտնի է որպես կրկնակի իոնային ճառագայթի ցրման նստվածք, որում որպես աղբյուր օգտագործվում է իոնային ճառագայթների ցրման նյութից պատրաստված թիրախը, ցրման արտադրանքը:Մինչ այն տեղադրվում է ենթաշերտի վրա, իոնային ճառագայթով ցրման օգնությամբ նստվածքը ձեռք է բերվում մեկ այլ իոնային աղբյուրի հետ ճառագայթման միջոցով:Այս մեթոդի առավելությունն այն է, որ ցրված մասնիկներն իրենք ունեն որոշակի էներգիա, ուստի ավելի լավ կպչունություն կա սուբստրատի հետ.Թիրախի ցանկացած բաղադրիչ կարող է ցողվել թաղանթով, բայց նաև կարող է լինել ռեակցիայի ցողում ֆիլմի մեջ, հեշտ է կարգավորել ֆիլմի կազմը, բայց դրա նստեցման արդյունավետությունը ցածր է, թիրախը թանկ է, և կան խնդիրներ, ինչպիսիք են ընտրովի ցողումը:
Հրապարակման ժամանակը` նոյ-08-2022