1, ցրված ծածկույթի առանձնահատկությունները
Համեմատած սովորական վակուումային գոլորշիացման ծածկույթի հետ, ցողացող ծածկույթն ունի հետևյալ հատկանիշները.
(1) Ցանկացած նյութ կարող է ցրվել, հատկապես բարձր հալման կետը, ցածր գոլորշի ճնշման տարրերը և միացությունները:Քանի դեռ այն պինդ է, լինի դա մետաղ, կիսահաղորդիչ, մեկուսիչ, միացություն և խառնուրդ և այլն, լինի դա բլոկ, հատիկավոր նյութը կարող է օգտագործվել որպես թիրախային նյութ։Քանի որ ջերմամեկուսիչ նյութերի և համաձուլվածքների, օրինակ՝ օքսիդների ցողման ժամանակ տեղի է ունենում քիչ տարրալուծում և մասնատում, դրանք կարող են օգտագործվել բարակ թաղանթներ և համաձուլվածքային թաղանթներ պատրաստելու համար՝ նպատակային նյութի բաղադրիչներին նման միատեսակ բաղադրիչներով և նույնիսկ բարդ բաղադրությամբ գերհաղորդիչ թաղանթներ պատրաստելու համար։ ռեակտիվ ցողման մեթոդը կարող է օգտագործվել նաև թիրախային նյութից բոլորովին տարբեր միացությունների թաղանթներ արտադրելու համար, ինչպիսիք են օքսիդները, նիտրիդները, կարբիդները և սիլիցիդները:
(2) Լավ կպչունություն ցողված թաղանթի և հիմքի միջև:Քանի որ ցրված ատոմների էներգիան 1-2 կարգով մեծ է, քան գոլորշիացված ատոմներինը, ենթաշերտի վրա կուտակված բարձր էներգիայի մասնիկների էներգիայի փոխակերպումը առաջացնում է ավելի բարձր ջերմային էներգիա, որն ուժեղացնում է ցրված ատոմների կպչունությունը սուբստրատին:Բարձր էներգիայի ցրված ատոմների մի մասը կներարկվի տարբեր աստիճաններով՝ ձևավորելով այսպես կոչված կեղծ դիֆուզիոն շերտ սուբստրատի վրա, որտեղ ցրված ատոմները և ենթաշերտի նյութի ատոմները «խառնվում են» միմյանց հետ:Բացի այդ, ցայտող մասնիկների ռմբակոծման ժամանակ ենթաշերտը միշտ մաքրվում և ակտիվանում է պլազմային գոտում, որը հեռացնում է վատ կպչուն նստվածքային ատոմները, մաքրում և ակտիվացնում է ենթաշերտի մակերեսը:Արդյունքում, ցողված թաղանթի շերտի կպչունությունը ենթաշերտին մեծապես ուժեղանում է:
(3) ցողման ծածկույթի բարձր խտություն, ավելի քիչ քորոցներ և թաղանթի շերտի ավելի բարձր մաքրություն, քանի որ խառնարանով աղտոտվածություն չկա, ինչն անխուսափելի է վակուումային գոլորշիների նստեցման ժամանակ ցողած ծածկույթի գործընթացում:
(4) Լավ վերահսկելիություն և ֆիլմի հաստության կրկնելիություն:Քանի որ լիցքաթափման հոսանքը և թիրախային հոսանքը կարող են առանձին կառավարվել ցողման ծածկույթի ժամանակ, թաղանթի հաստությունը կարող է վերահսկվել թիրախային հոսանքը վերահսկելու միջոցով, հետևաբար, թաղանթի հաստության կառավարելիությունը և թաղանթի հաստության վերարտադրելիությունը ցողացող ծածկույթի բազմակի ցրման միջոցով լավ են: , և կանխորոշված հաստության թաղանթը կարող է արդյունավետորեն ծածկվել:Բացի այդ, ցողած ծածկույթը կարող է ձեռք բերել միատեսակ թաղանթի հաստություն մեծ տարածքի վրա:Այնուամենայնիվ, ընդհանուր ցողման ծածկույթի տեխնոլոգիայի համար (հիմնականում դիպոլային ցողում) սարքավորումները բարդ են և պահանջում են բարձր ճնշման սարք;թաղանթային նստվածքի թաղանթի ձևավորման արագությունը ցածր է, վակուումային գոլորշիացման տեղակայման արագությունը 0,1~5նմ/րոպե է, մինչդեռ ցրման արագությունը 0,01~0,5նմ/րոպե է;ենթաշերտի ջերմաստիճանի բարձրացումը բարձր է և խոցելի է կեղտոտ գազերի նկատմամբ և այլն: Այնուամենայնիվ, ռադիոհաղորդումների և մագնետրոնային ցրման տեխնոլոգիայի զարգացման շնորհիվ մեծ առաջընթաց է ձեռք բերվել ցայտման արագ նստեցման և ենթաշերտի ջերմաստիճանի նվազեցման գործում:Ավելին, վերջին տարիներին հետազոտվում են ցողման ծածկույթի նոր մեթոդներ՝ հիմնված հարթ մագնետրոնային ցրման վրա, որպեսզի նվազագույնի հասցնեն ցայտող օդի ճնշումը մինչև զրոյական ճնշման ցրումը, որտեղ ներծծող գազի ճնշումը ցողման ժամանակ կլինի զրո:
Հրապարակման ժամանակը` նոյ-08-2022