Peralatan mengadopsi teknologi penguapan berkas elektron.Elektron dipancarkan dari filamen katoda dan difokuskan ke arus berkas tertentu, yang dipercepat oleh potensi antara katoda dan wadah untuk melelehkan dan menguapkan bahan pelapis.Ini memiliki karakteristik kepadatan energi yang tinggi dan dapat menguapkan bahan pelapis dengan titik leleh lebih dari 3000 ℃.Film ini memiliki kemurnian tinggi dan efisiensi termal yang tinggi.
Peralatan ini dilengkapi dengan sumber penguapan berkas elektron, sumber ion, sistem pemantauan ketebalan film, struktur koreksi ketebalan film, dan sistem rotasi benda kerja payung yang stabil.Melalui pelapisan yang dibantu sumber ion, kekompakan film ditingkatkan, indeks bias distabilkan, dan fenomena pergeseran panjang gelombang akibat kelembapan dihindari.Sistem pemantauan real-time ketebalan film otomatis penuh dapat memastikan pengulangan dan stabilitas proses.Dilengkapi dengan fungsi peleburan sendiri untuk mengurangi ketergantungan pada keterampilan operator.
Peralatan ini berlaku untuk berbagai oksida dan bahan pelapis logam, dan dapat dilapisi dengan film optik presisi multi-lapisan, seperti film AR, gelombang panjang, gelombang pendek, film pencerah, film AS / AF, IRCUT, sistem film berwarna , sistem film gradien, dll. Telah banyak digunakan dalam kacamata AR, lensa optik, kamera, lensa optik, filter, industri semikonduktor, dll.