Plasma energi tinggi dapat membombardir dan menyinari bahan polimer, memutus rantai molekulnya, membentuk gugus aktif, meningkatkan energi permukaan, dan menghasilkan etsa.Perlakuan permukaan plasma tidak memengaruhi struktur internal dan kinerja material curah, tetapi hanya mengubah sifat permukaan secara signifikan.
Agar tidak merusak karakteristik material itu sendiri, perlakuan modifikasi permukaan plasma biasanya tidak menggunakan plasma dengan densitas daya yang lebih tinggi.Perbedaan antara perawatan ini dengan perawatan plasma lainnya adalah:
1) Jangan menyuntikkan ion atau atom ke permukaan yang dirawat (seperti implantasi ion).
2) Jangan membuang bahan yang lebih besar (seperti sputtering atau etsa).
3) Jangan menambahkan lebih dari beberapa lapisan material (atomik) ke permukaan (seperti pengendapan).
Singkatnya, perawatan permukaan plasma hanya melibatkan beberapa lapisan atom terluar.
Parameter proses untuk modifikasi permukaan plasma terutama mencakup tekanan gas, frekuensi medan listrik, daya pelepasan, waktu tindakan, dll. Parameter proses mudah disesuaikan.Selama proses modifikasi plasma, banyak partikel aktif cenderung bereaksi dengan permukaan yang dirawat yang bersentuhan dengannya, dan dapat digunakan untuk merawat permukaan material.Dibandingkan dengan metode tradisional, modifikasi permukaan plasma memiliki keunggulan proses sederhana, pengoperasian sederhana, biaya rendah, bebas polusi, bebas limbah, produksi aman, dan efisiensi tinggi.
Waktu posting: Jun-07-2023