Selama pelapisan penguapan, nukleasi dan pertumbuhan lapisan film adalah dasar dari berbagai teknologi pelapisan ion
1.Nukleasi
Inteknologi lapisan penguapan vakum, setelah partikel lapisan film diuapkan dari sumber penguapan dalam bentuk atom, mereka terbang langsung ke benda kerja dalam vakum tinggi dan membentuk lapisan film dengan nukleasi dan pertumbuhan pada permukaan benda kerja.Selama penguapan vakum, energi atom lapisan film yang keluar dari sumber penguapan sekitar 0,2eV.Ketika kohesi antara partikel lapisan film lebih besar dari gaya ikatan antara atom lapisan film dan benda kerja, membentuk inti pulau.Atom lapisan film tunggal tetap berada di permukaan benda kerja selama beberapa waktu melakukan gerakan tidak teratur, difusi, migrasi, atau tumbukan dengan atom lain untuk membentuk gugus atom Jumlah atom dalam gugus atom mencapai nilai kritis tertentu, stabil inti terbentuk, disebut inti berbentuk homogen.
halus, dan mengandung banyak cacat dan langkah, yang menyebabkan perbedaan gaya adsorpsi dari berbagai bagian benda kerja ke atom radioaktif.Energi adsorpsi permukaan cacat lebih besar dari permukaan normal, sehingga menjadi pusat aktif, yang kondusif untuk nukleasi preferensial, yang disebut nukleasi heterogen.Ketika gaya kohesif sama dengan gaya ikat, atau gaya ikat antara atom membran dan benda kerja lebih besar dari gaya kohesif antara atom membran, struktur lamelar terbentuk.Dalam teknologi pelapisan ion, inti pulau terbentuk dalam banyak kasus.
2. Pertumbuhan
Begitu inti film terbentuk, ia terus tumbuh dengan menjebak atom-atom yang datang. Pulau-pulau tumbuh dan bergabung satu sama lain untuk membentuk belahan yang lebih besar, secara bertahap membentuk lapisan pulau hemisfer yang menyebar ke permukaan benda kerja.
Ketika energi atom dari lapisan film tinggi, ia dapat berdifusi dengan cukup di permukaan dan film kontinu yang halus dapat dibentuk ketika gugus atom yang masuk berikutnya berukuran kecil. Jika difusi atom di permukaan lemah dan ukurannya cluster yang diendapkan besar, mereka ada sebagai inti semenanjung besar. Bagian atas inti pulau memiliki efek naungan yang kuat pada bagian cekung, yaitu "efek bayangan". Proyeksi permukaan lebih kondusif untuk menangkap atom yang diendapkan berikutnya dan pertumbuhan preferensial, menghasilkan tingkat kecekungan yang meningkat pada permukaan untuk membentuk kristal berbentuk kerucut atau kolumnar dengan ukuran yang cukup.Rongga penetrasi terbentuk di antara kristal kerucut dan nilai kekasaran permukaan meningkat. Jaringan halus dapat diperoleh pada vakum tinggi, dengan penurunan tingkat vakum, struktur mikro membran menjadi lebih tebal dan lebih tebal.
Waktu posting: Mei-24-2023