Apa sumber polusi dari peralatan pelapisan vakum

Ituperalatan lapisan vakumterdiri dari banyak bagian presisi, yang dibuat melalui banyak proses, seperti pengelasan, penggilingan, pembubutan, perencanaan, pemboran, penggilingan, dan sebagainya.Karena pekerjaan ini, permukaan bagian peralatan pasti akan terkontaminasi oleh beberapa polutan seperti minyak, kotoran minyak, serpihan logam, fluks las, pasta pemoles, bekas keringat dan sebagainya.Polutan ini mudah menguap dalam kondisi vakum, sehingga mempengaruhi vakum utama peralatan.

Selain itu, polutan vakum dari pemrosesan mekanis ini menyerap sejumlah besar gas di lingkungan tekanan atmosfer, dan dalam keadaan vakum, gas yang sebelumnya terserap juga akan dilepaskan lagi, menjadi faktor utama yang membatasi batas vakum.Untuk alasan ini, polutan harus dihilangkan sebelum bagian-bagian dari mesin pelapis vakum dirakit.

Selama penggunaan peralatan vakum, komponennya juga akan terkontaminasi.Namun, polusi dari sumber ini terutama disebabkan oleh kondisi penggunaan dan pompa vakum.

1. Penguapan filamen pengukur vakum di bawah kondisi suhu tinggi akan menyebabkan pembentukan film pada isolator keramik, yang akan merusak kekuatan insulasinya sampai batas tertentu, dan juga berdampak tertentu pada keakuratannya. pengukuran;

2. Karena penguapan suhu tinggi, film logam akan terbentuk di permukaan dekat filamen senjata elektron dalam ruang hampa;

3. Karena sputtering benda kerja, dinding bagian dalam peralatan etsa berkas ion akan terkontaminasi oleh percikan;

4. Dinding bagian dalam peralatan pelapis penguapan vakum akan terkontaminasi oleh bahan target penguapannya;

5. Sistem pengeringan vakum sering digunakan, dan sistem akan terkontaminasi oleh zat yang menguap;

6. Oli pompa difusi dan oli pompa mekanis dalam peralatan lapisan vakum juga merupakan sumber utama polusi.Setelah mesin pelapis bekerja dalam waktu lama, lapisan minyak dapat terbentuk di dalam peralatan.

Singkatnya, sanitasi vakum peralatan melibatkan peralatan vakum, sistem vakum, produksi proses vakum dan aspek dan tautan lainnya, serta persyaratan peralatan pelapis vakum itu sendiri dan proses vakum khusus pada kondisi penggunaan.Oleh karena itu, polusi vakum merupakan masalah yang patut diperhatikan, karena polusi ini akan mempengaruhi kinerja peralatan, dan perhatian harus diberikan pada pembersihan rutin atau kapan saja.