Jenis | Nama | Prinsip | Kisaran tekanan kerja |
Pompa Mekanis | Pompa mekanis seal oli mesin tunggal | Mengompresi dan mengempiskan gas dengan mesin | 105--101 |
Pompa mekanis seal oli mesin ganda | 105--102 | ||
Pompa molekuler | 101--108 | ||
Pompa akar | 103--102 | ||
Pompa injeksi uap | Pompa injeksi oli | Membawa pergi gas dengan momentum semburan uap | 101--107 |
Pompa difusi minyak | 101--106 | ||
Pompa difusi merkuri | 101--105 | ||
Pompa kering | Pompa ion sputtering | Penyerapan dan penghilangan gas oleh film penyerap, dibentuk oleh sublimasi atau sputtering | 101--108 |
Pompa sublimasi titanium | 101--109 | ||
Pompa adsorpsi | Penghapusan gas dengan adsorpsi fisik pada permukaan suhu rendah | 106--102 | |
Pompa kondensat | 102--1011 | ||
Pompa adsorpsi kondensat | 102--1010 |
Waktu posting: Nov-08-2022