Búnaðurinn samþykkir rafeindageisla uppgufunartækni.Rafeindir eru sendar frá bakskautsþræðinum og fókusaðir í ákveðinn geislastraum, sem er hraðað með möguleikanum á milli bakskautsins og deiglunnar til að bræða og gufa upp húðunarefnið.Það hefur einkenni mikillar orkuþéttleika og getur gufað upp húðunarefnið með bræðslumark meira en 3000 ℃.Kvikmyndin hefur mikla hreinleika og mikla hitauppstreymi.
Búnaðurinn er búinn rafeindageislauppgufunargjafa, jónagjafa, eftirlitskerfi með filmuþykkt, leiðréttingarkerfi fyrir filmuþykkt og stöðugt snúningskerfi regnhlífar.Með jónauppsprettu aðstoðað húðun eykst þéttleiki filmunnar, brotstuðullinn er stöðugur og forðast fyrirbæri bylgjulengdarbreytinga vegna raka.Fullsjálfvirkt filmuþykkt rauntíma eftirlitskerfi getur tryggt endurtekningarhæfni og stöðugleika ferlisins.Það er búið sjálfbræðsluaðgerð til að draga úr ósjálfstæði á færni rekstraraðila.
Búnaðurinn á við um ýmis oxíð og málmhúðunarefni og hægt er að húða hann með fjöllaga nákvæmni ljósfilmum, svo sem AR filmu, langbylgjuleið, stuttbylgjuleið, bjartandi filmu, AS / AF filmu, IRCUT, litfilmukerfi. , hallafilmukerfi osfrv. Það hefur verið mikið notað í AR gleraugu, sjónlinsur, myndavélar, sjónlinsur, síur, hálfleiðaraiðnað osfrv.