HFCVD0606

Tómarúmhúðunarhólf efnagufuútfellingarbúnaðarins samþykkir sjálfstæða tveggja laga vatnskælibyggingu, sem er skilvirk og einsleit í kælingu og hefur örugga og stöðuga uppbyggingu.Búnaðurinn er hannaður með tvöföldum hurðum, mörgum athugunargluggum og mörgum stækkunarviðmótum, sem er þægilegt fyrir utanaðkomandi tengingu aukabúnaðar eins og innrauða hitamælingu, litrófsgreiningu, myndbandseftirlit og hitaeining.Háþróuð hönnunarhugmynd gerir daglega endurskoðun og viðhald, stillingarbreytingar og uppfærslu búnaðarins auðveld og einföld og dregur í raun úr notkun og uppfærslukostnaði.

Eiginleikar búnaðar:

1. Uppblásturshlutir búnaðarins innihalda aðallega massarennslismæli, segulloka og gasblöndunartank, sem tryggja nákvæma stjórn á ferli gasflæðis, samræmda blöndun og örugga einangrun mismunandi lofttegunda og geta valið íhluti gaskerfis til notkunar fljótandi gasgjafa, auðvelda sérsniðið val á fjölmörgum fljótandi kolefnisgjöfum og örugga notkun á tilbúnum leiðandi demantum og rafskautum fljótandi bórgjafa.
2.Loftútdráttarsamstæðan er búin hljóðlausri og skilvirkri hringtómaloftsdælu og túrbó sameinda dælukerfi sem getur fljótt mætt bakgrunnsumhverfi með háum lofttæmi.Samsettur tómarúmsmælirinn með viðnámsmæli og jónunarmæli er notaður til lofttæmismælinga, auk rafrýmds filmumæliskerfisins sem getur mælt þrýsting mismunandi ferlilofttegunda á breitt svið.Útfellingarþrýstingurinn er fullkomlega sjálfvirkur stjórnað af hárnákvæmni hlutfallsstýringarventil.
3.Kælivatnshlutinn er búinn fjölrása vatnsþrýstingi, flæði, hitamælingu og sjálfvirku eftirliti með hugbúnaði.Mismunandi kælihlutir eru óháðir hver öðrum, sem er þægilegt fyrir hraða bilanagreiningu.Allar greinar eru með sjálfstæðum ventilrofum, sem er öruggt og skilvirkt.
4.Rafmagnsstýringarhlutirnir samþykkja stóran mann-vél tengi LCD skjá og vinna með PLC fullsjálfvirkri stjórn til að auðvelda klippingu og innflutning á ferli formúlu.Myndræni ferillinn sýnir sjónrænt breytingar og gildi ýmissa færibreytna og búnaðar- og ferlibreytur eru sjálfkrafa skráðar og geymdar til að auðvelda rekja vandamál og tölfræðilega greiningu gagna.
5. Vinnustykkið rekki er búið servómótor til að stjórna lyftingu og lækkun undirlagsborðsins.Hægt er að velja grafít eða rauð kopar undirlagsborð.Hitastigið er mælt með hitaeiningu.
6.Rekkihlutirnir geta verið hannaðir í heild eða sérstaklega í samræmi við kröfur viðskiptavina til að mæta sérstökum meðhöndlunarkröfum viðskiptavina.
7. Innsigliplötuhlutarnir eru fallegir og glæsilegir.Hægt er að taka í sundur þéttingarplöturnar á mismunandi sviðum búnaðarins á virknieiningum fljótt eða opna og loka sjálfstætt, sem er mjög þægilegt í notkun.

Heitt filament CVD búnaður er hentugur til að koma fyrir demantaefni, þar með talið þunnfilmuhúð, sjálfbærandi þykk filmu, örkristallaður og nanókristallaður demantur, leiðandi demantur osfrv. Hann er aðallega notaður til slitþolinnar hlífðarhúðunar á sementuðu karbíðskurðarverkfærum, hálfleiðaraefnum. eins og sílikon og kísilkarbíð, hitaleiðnihúð á tækjum, bórdópuð leiðandi demantskaut, ósonsótthreinsun rafgreiningarvatns eða skólphreinsun.