CVD húðunartækni hefur eftirfarandi eiginleika:
1. Ferlisaðgerð CVD búnaðar er tiltölulega einföld og sveigjanleg og það getur undirbúið stakar eða samsettar kvikmyndir og málmblöndur með mismunandi hlutföllum;
2. CVD húðun hefur breitt úrval af forritum og er hægt að nota til að undirbúa ýmsar málm- eða málmfilmuhúðun;
3. Mikil framleiðsla skilvirkni vegna útfellingar á bilinu frá nokkrum míkron til hundruð míkron á mínútu;
4. Samanborið við PVD aðferð, hefur CVD betri diffraction árangur og er mjög hentugur til að húða undirlag með flóknum formum, svo sem grópum, húðuðum holum og jafnvel blindholum.Hægt er að húða húðina í filmu með góðri þéttleika.Vegna mikils hitastigs meðan á filmumyndun stendur og sterkrar viðloðun á viðmóti filmuundirlagsins er filmulagið mjög þétt.
5. Tjónið af völdum geislunar er tiltölulega lítið og hægt að samþætta það við MOS samþætt hringrásarferli.
——Þessi grein er birt af Guangdong Zhenhua, aframleiðanda tómarúmhúðunarvéla
Pósttími: 29. mars 2023