① Góð stjórnhæfni og endurtekningarhæfni filmuþykktar
Hvort hægt er að stjórna filmuþykktinni á fyrirfram ákveðnu gildi er kallað filmuþykktarstýranleiki.Hægt er að endurtaka nauðsynlega filmuþykkt í mörgum sinnum, sem kallast endurtekningarhæfni filmuþykktar. Vegna þess að hægt er að stjórna útskriftarstraumi og markstraumi tómarúmsputterishúðunar sérstaklega.Þess vegna er hægt að stjórna þykkt sputtered filmu og hægt er að setja kvikmyndina með fyrirfram ákveðna þykkt á áreiðanlegan hátt.Að auki getur sputterhúðin fengið filmu með samræmda þykkt á stóru yfirborði.
② Sterk viðloðun milli filmu og undirlags
Orka sputtered atóma er 1-2 stærðargráðum hærri en uppgufuð atóm.Orkubreyting háorku sputtered atóma sem sett eru á undirlagið er mun meiri en uppgufuðu atómanna, sem myndar meiri hita og eykur viðloðun milli sputtered atómanna og undirlagsins.Að auki framleiða sumar háorku sputtered atóm mismunandi stig inndælingar og mynda gervidreifingarlag á undirlaginu.Að auki er hvarfefnið alltaf hreinsað og virkjað á plasmasvæðinu meðan á filmumyndun stendur, sem fjarlægir sputtering atómin með veikum viðloðun og hreinsar og virkjar yfirborð undirlagsins.Þess vegna hefur sputtered filman sterka viðloðun við undirlagið.
③ Hægt er að útbúa nýja efnisfilmu sem er ólík markmiðinu
Ef hvarfgjarnt gas er sett inn við sputtering til að láta það hvarfast við skotmarkið er hægt að fá nýja efnisfilmu sem er allt önnur en markið.Til dæmis er kísill notaður sem sputtering markið og súrefni og argon eru sett saman í lofttæmishólfið.Eftir sputtering er hægt að fá SiOz einangrunarfilmu.Með því að nota títan sem sputteringsmarkmiðið er köfnunarefni og argon sett saman í lofttæmishólfið og hægt er að fá fasa TiN gulllíka filmuna eftir sputtering.
④ Hár hreinleiki og góð gæði kvikmynda
Þar sem enginn deigluhluti er í sputtering filmu undirbúningsbúnaðinum, verður íhlutum deigluhitarefnisins ekki blandað í sputtering filmulagið.Ókostirnir við sputtering húðun eru að filmumyndunarhraði er hægari en uppgufunarhúð, hitastig undirlagsins er hærra, það er auðvelt að verða fyrir áhrifum af óhreinindum og uppbygging tækisins er flóknari.
Þessi grein er gefin út af Guangdong Zhenhua, framleiðandatómarúmhúðunarbúnaður
Pósttími: Mar-09-2023