Núverandi notkunaraðstæður tómarúms hálfleiðara húðunar

Eins og við vitum öll er skilgreiningin á hálfleiðara að það hefur leiðni milli þurra leiðara og einangrunarefna, viðnám milli málms og einangrunarbúnaðar, sem er venjulega við stofuhita er á bilinu 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Á undanförnum árum, tómarúm hálfleiðara húðun í helstu hálfleiðurum fyrirtæki, það er ljóst að staða þess er sífellt hár, sérstaklega í sumum stórum stíl samþætt kerfi hringrás þróun tækni rannsóknaraðferðir til segulmagnsbreytingar tæki, ljós-emitting tæki og önnur þróunarvinnu.Tómarúm hálfleiðara húðun hefur mikilvægt hlutverk.

Hálfleiðarar einkennast af innri eiginleikum þeirra, hitastigi og styrk óhreininda.Tómarúm hálfleiðara húðunarefni eru aðgreind frá hvort öðru aðallega með efnasamböndum þess.Um það bil allir eru byggðir á bór, kolefni, sílikoni, germaníum, arseni, antímóni, tellúr, joði o.s.frv., og sumir tiltölulega fáir GaP, GaAs, lnSb o.s.frv. MnO, Cr₂O₃, Cu₂O osfrv.

Vacuum uppgufun, sputtering húðun, jón húðun og annar búnaður getur gert tómarúm hálfleiðara húðun.Þessi húðunarbúnaður er allur ólíkur í vinnureglunni, en þeir gera allir húðunarefni hálfleiðara efnis sett á undirlagið og sem efni undirlagsins er engin krafa, það getur verið hálfleiðari eða ekki.Að auki er hægt að útbúa húðun með mismunandi rafmagns- og ljóseiginleika með bæði dreifingu óhreininda og jónaígræðslu á yfirborði hálfleiðara undirlagsins á ýmsum sviðum.Þunnt lag sem myndast er einnig hægt að vinna sem hálfleiðarahúðun almennt.

Tómarúm hálfleiðara húðun er ómissandi tilvist í rafeindatækni hvort sem það er fyrir virk eða óvirk tæki.Með stöðugri framþróun tómarúms hálfleiðara húðunartækni hefur nákvæm stjórn á frammistöðu kvikmynda orðið möguleg.

Á undanförnum árum hefur formlaus húðun og fjölkristallað húðun tekið miklum framförum í framleiðslu á ljósleiðarabúnaði, húðuðum sviðsáhrifsrörum og afkastamiklum sólarsellum.Að auki, vegna þróunar tómarúms hálfleiðara húðunar og þunnrar filmu skynjara, sem einnig dregur verulega úr erfiðleikum við val á efni og gerir framleiðsluferlið smám saman einfaldað.Tómarúm hálfleiðara húðunarbúnaður er orðinn nauðsynlegur viðvera fyrir hálfleiðara forrit.Búnaðurinn er mikið notaður fyrir hálfleiðarahúðun á myndavélatækjum, sólarsellum, húðuðum smára, sviðslosun, bakskautsljósi, rafeindalosun, þunnfilmuskynjunarþáttum osfrv.

Magnetron sputtering húðunarlínan er hönnuð með fullsjálfvirku stjórnkerfi, þægilegu og leiðandi snertiskjá viðmóti manna og véla.Línan er hönnuð með fullkominni aðgerðavalmynd til að ná fullu eftirliti með rekstrarstöðu fyrir alla framleiðslulínuhlutana, stillingu ferlibreytu, rekstrarvörn og viðvörunaraðgerðum.Allt rafstýringarkerfið er öruggt, áreiðanlegt og stöðugt.Búin með efri og neðri tvíhliða segulómspúttunarmarkmiði eða einhliða húðunarkerfi.

Búnaðurinn er aðallega notaður á keramik hringrásarspjöld, flís háspennuþétta og önnur undirlagshúð, helstu notkunarsvæði eru rafrásarspjöld.