Heita vírbogabætt plasma efnagufuútfellingartæknin notar heita vírbogabyssuna til að gefa frá sér bogaplasma, skammstafað sem heita vírboga PECVD tæknin.Þessi tækni er svipuð og jónahúðunartækni fyrir heita vírbogabyssu, en munurinn er sá að fasta kvikmyndin sem fæst með jónahúð með heitu vírbogabyssu notar ljósboga rafeindaflæðið frá heitu vírbogabyssunni til að hita og gufa upp málminn í deiglunni, en heita vírbogaljósið PECVD er fóðrað með hvarflofttegundum, svo sem CH4 og H2, sem eru notaðar til að setja demantfilmur.Með því að treysta á háþéttni ljósbogaútskriftarstrauminn sem gefinn er frá heitu vírbogabyssunni, eru hvarfgjörnu gasjónirnar spenntar til að fá ýmsar virkar agnir, þar á meðal gasjónir, atómjónir, virkir hópar og svo framvegis.
Í heita vírboga PECVD tækinu eru tveir rafsegulspólar enn settir upp fyrir utan húðunarherbergið, sem veldur því að rafeindaflæði með háþéttni snýst meðan á hreyfingu í átt að rafskautinu stendur, sem eykur líkurnar á árekstri og jónun milli rafeindaflæðisins og hvarfgassins. .Rafsegulspólan getur einnig sameinast í bogasúlu til að auka plasmaþéttleika alls útfellingarhólfsins.Í ljósbogaplasma er þéttleiki þessara virku agna mikill, sem gerir það auðveldara að setja demantsfilmur og önnur filmulög á vinnustykkið.
——Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi ljóshúðunarvéla.
Pósttími: maí-05-2023