1. Thermal CVD tækni
Harðhúð er að mestu leyti málmkeramikhúð (TiN, o.s.frv.), sem myndast við hvarf málms í húðuninni og viðbragðsgasun.Í fyrstu var hitauppstreymi CVD tæknin notuð til að veita virkjunarorku samsettrar viðbragðs með hitaorku við háan hita upp á 1000 ℃.Þetta hitastig hentar aðeins til að setja TiN og aðra harða húðun á sementuðu karbíðverkfæri.Enn sem komið er er það enn mikilvæg tækni að setja TiN-Al20 samsett húðun á verkfærahausa úr sementuðu karbíði.
2. Holt bakskautjónahúð og heitt vírbogajónahúðun
Á níunda áratugnum voru hol bakskautjónahúð og heitvírbogajónahúð notuð til að setja húðuð skurðarverkfæri.Báðar þessar jónahúðunartækni eru ljósbogaútskrift jónahúðunartækni, með málmjónunarhraða allt að 20% ~ 40%.
3. Bakskautbogajónahúð
Tilkoma kaþódískrar ljósbogajónahúðunar hefur leitt til þróunar á tækni til að setja harða húðun á mót.Jónunarhraði kaþódískrar ljósbogajónahúðunar er 60% ~ 90%, sem gerir miklum fjölda málmjóna og hvarfgasjóna kleift að ná yfirborði vinnustykkisins og halda áfram mikilli virkni, sem leiðir til viðbragðsútfellingar og myndun harðrar húðunar eins og TiN.Sem stendur er kaþódísk ljósbogajónhúðunartækni aðallega notuð til að setja harða húðun á mót.
Bakskautsbogagjafinn er uppgufunargjafi í föstu formi án fastrar bræddrar laugar og hægt er að setja ljósbogauppsprettustöðuna að geðþótta, sem bætir rýmisnýtingarhlutfall húðunarherbergisins og eykur hleðslugetu ofnsins.Lögun bakskautsbogagjafa innihalda litla hringlaga bakskautsbogagjafa, súlulaga bogagjafa og rétthyrnd flata stórbogagjafa.Hægt er að raða mismunandi íhlutum lítilla bogagjafa, dálkalaga bogagjafa og stóra bogagjafa sérstaklega til að leggja fyrir fjöllaga kvikmyndir og nanó fjöllaga kvikmyndir.Á sama tíma, vegna mikils málmjónunarhraða kaþódískrar ljósbogajónahúðunar, geta málmjónir tekið í sig fleiri hvarflofttegundir, sem leiðir til breitt ferlisviðs og einfalda aðgerð til að fá framúrskarandi harða húðun.Hins vegar eru grófir dropar í örbyggingu húðunarlagsins sem fæst með kaþódískri bogajónahúð.Á undanförnum árum hafa mörg ný tækni komið fram til að betrumbæta uppbyggingu filmulagsins, sem hefur bætt gæði ljósbogajónahúðunarfilmunnar.
——Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi ljóshúðunarvéla.
Birtingartími: 28. apríl 2023