Bein fjölliðunarferli í plasma

Bein fjölliðunarferli í plasma

Ferlið við plasmafjölliðun er tiltölulega einfalt fyrir bæði innri rafskautsfjölliðunarbúnað og ytri rafskautsfjölliðunarbúnað, en val á breytu er mikilvægara í plasmafjölliðun, vegna þess að breytur hafa meiri áhrif á uppbyggingu og frammistöðu fjölliða kvikmynda meðan á plasmafjölliðun stendur.

Aðgerðarskrefin fyrir beina plasmafjölliðun eru sem hér segir:

(1) Ryksuga

Dæla skal bakgrunnstæmi fjölliðunar við lofttæmi í 1,3×10-1Pa.Fyrir fjölliðunarhvörf sem krefjast sérstakra krafna til að stjórna súrefnis- eða köfnunarefnisinnihaldi er krafan um bakgrunnslofttæmi enn meiri.

(2) Hleðsluhvarf einliða eða blandað gas úr burðargasi og einliða

Tómarúmsstigið er 13-130Pa.Fyrir plasmafjölliðun sem krefst vinnu skal velja viðeigandi flæðisstýringu og flæðishraða, venjulega 10.100mL/mín.Í plasma eru einliða sameindir jónaðar og sundraðar með sprengjuárás á orkuríkar agnir, sem leiðir til virkra agna eins og jóna og virkra gena.Virku agnirnar sem virkjaðar eru af plasma geta gengist undir plasmafjölliðun á snertifleti gasfasa og fastfasa.Einliðan er uppspretta undanfara fyrir plasmafjölliðun og inntak hvarfgas og einliða skal hafa ákveðinn hreinleika.

(3) Val á örvunaraflgjafa

Plasma er hægt að mynda með því að nota DC, hátíðni, RF eða örbylgjuofn aflgjafa til að veita plasma umhverfi fyrir fjölliðun.Val á aflgjafa er ákvarðað út frá kröfum um uppbyggingu og frammistöðu fjölliðunnar.

(4) Val á losunarham

Fyrir fjölliðakröfur getur plasmafjölliðun valið tvo losunarhami: samfellda losun eða púlslosun.

(5) Val á losunarbreytum

Þegar plasmafjölliðun er framkvæmd þarf að huga að losunarstærðum út frá plasmabreytum, fjölliðaeiginleikum og kröfum um uppbyggingu.Stærð beitts afls við fjölliðun ræðst af rúmmáli lofttæmishólfsins, rafskautastærð, einliða flæðihraða og uppbyggingu, fjölliðunarhraða og fjölliða uppbyggingu og frammistöðu.Til dæmis, ef rúmmál hvarfhólfsins er 1L og RF Plasma fjölliðun er samþykkt, mun losunaraflið vera á bilinu 10 ~ 30W.Við slíkar aðstæður getur plasma sem myndast safnast saman og myndað þunnt filmu á yfirborði vinnustykkisins.Vaxtarhraði Plasma fjölliðunarfilmu er breytilegur eftir aflgjafa, gerð einliða og flæðishraða og vinnsluaðstæðum.Almennt er vaxtarhraði 100nm/mín ~ 1um/mín.

(6) Mæling á færibreytum í plasma fjölliðun

Plasma breytur og ferli breytur sem á að mæla í plasma fjölliðun eru: losunarspenna, losunarstraumur, losunartíðni, rafeindahitastig, þéttleiki, gerð og styrkur viðbragðshóps o.s.frv.

——Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi ljóshúðunarvéla.