1. Bombardment hreinsun undirlag
1.1) Sputtering húðunarvél notar ljómaútskrift til að þrífa undirlagið.Það er að segja, hlaðið argongasinu inn í hólfið, losunarspenna er um það bil 1000V, eftir að kveikt er á aflgjafanum myndast glóðafhleðsla og undirlagið er hreinsað með argonjóna sprengjuárás.
1.2) Í sputtering húðunarvélum sem framleiða hágæða skraut í iðnaði eru títanjónir sem gefa frá sér litla bogagjafa aðallega notaðar til hreinsunar.Sputtering húðunarvélin er útbúin með litlum bogagjafa og títanjónstraumurinn í ljósbogaplasmanum sem myndast við losun litla bogagjafans er notaður til að sprengja og hreinsa undirlagið.
2. Títan nítríð húðun
Þegar títanítríð þunnt filmur er sett á er markefnið fyrir sputtering títanmark.Markefnið er tengt við neikvæða rafskaut sputtering aflgjafans og markspennan er 400 ~ 500V;Argonflæðið er fast og stjórntæmi er (3~8) x10-1PA.Undirlagið er tengt við neikvæða rafskaut hlutdrægni aflgjafa, með spennu 100 ~ 200V.
Eftir að kveikt hefur verið á aflgjafa sputtering títanmarkmiðsins myndast glóðarrennsli og háorkuargonjónir sprengja sputtering markið og sputtera títan frumeindir frá skotmarkinu.
Hvarfgasið köfnunarefni er sett inn og títan atóm og köfnunarefni eru jónuð í títanjónir og köfnunarefnisjónir í húðunarhólfinu.Undir aðdráttarafl hins neikvæða hlutdrægni rafsviðs sem er beitt á undirlagið, flýta títanjónir og köfnunarefnisjónir á yfirborð undirlagsins fyrir efnahvörf og útfellingu til að mynda títanítríð filmulag.
3. Taktu undirlagið út
Eftir að þú hefur náð fyrirfram ákveðinni filmuþykkt skaltu slökkva á sputtering aflgjafanum, undirlagshlutfallaflgjafanum og loftgjafanum.Eftir að hitastig undirlagsins er lægra en 120 ℃ skaltu fylla húðunarhólfið með lofti og taka undirlagið út.
Þessi grein er birt afMagnetron sputtering húðunarvél framleiðandi– Guangdong Zhenhua.
Pósttími: Apr-07-2023